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Microelectronics
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circuit patterns
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English
German
circuit pattern
image formation on semiconductor substrates
Abbildung von Schaltkreisstrukturen auf Halbleitersubstraten
circuit pattern
of about 3.0 micrometres
Schaltkreisstruktur mit Linienbreiten von etwa 3 pm
conductive pattern of a circuit
Leiterstruktur eines Schaltkreises
dimensional control of integrated
circuit patterns
Kontrolle der Abmessungen von Strukturen integrierter Schaltkreise
draw the
circuit pattern
at 500 times the true size
die Schaltkreisstruktur 500 fach vergrößert zeichnen
enlarged image of a single
circuit pattern
vergrößertes Bild einer einzigen Schaltkreisstruktur
expose the
circuit pattern
directly on the resist-covered wafer
die Schaltkreisstruktur direkt auf den resistbeschichteten Wafer belichten
integrated
circuit pattern
data file
Belichtungsdatei für einen integrierten Schaltkreis
integrated
circuit pattern
etched in silicon
in Silizium geätzte Struktur eines integrierten Schaltkreises
microelectronic
circuit pattern
mikroelektronische Schaltkreisstruktur
microimaging of
circuit patterns
Mikroabbildung von Schaltkreisstrukturen
step and repeat
circuit patterns
directly on wafers
Strukturen im Step-und-Repeat-Verfahren direkt auf Wafer übertragen
step and repeat
circuit patterns
directly on wafers
Schaltkreisstrukturen im Additionsverfahren direkt auf Wafer verkleinert abbilden
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