Terms for subject Microelectronics containing both ... and

English	German
contacting of both mask and wafer before exposure	Kontaktierung von Maske und Wafer vor der Belichtung
fine setting of straightness and orthogonality of both axes	Feineinstellung der Geradlinigkeit und Rechtwinkligkeit beider Achsen
image composition of both the wafer and reticle marks	Bildzusammensetzung der Wafer- und Retikelmarken
straightness of travel along both x and y axes	Geradlinigkeit der Bewegung in der x- und y-Achse