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abort a frame
einen Datenübertragungsblock beenden
accommodate the complete A-D function into an 18-pin dual-in-line package
die gesamte A-D-Funktion in einem DIP-Gehäuse mit 18 Anschlüssen unterbringen
act as a short circuit
als Kurzschlußleitung wirken
adapt to a computer interface
einem Computerinterface anpassen
add a digit to the next higher digit position
eine Ziffer zur nächsthöheren Stelle addieren
adjust resistance values by a laser beam
Widerstandswerte mit einem Laserstrahl abstimmen
advance a number stored in a register
eine im Register gespeicherte Zahl erhöhen
align a pattern with underlying ones
eine Struktur zu darunterliegenden justieren
alignment of successive lithographic levels on a wafer
Justierung aufeinanderfolgender lithografischer Ebenen auf einem Wafer
alignment requirements near a tenth-micron
Justierungsanforderungen von etwa einem zehntel Mikrometer
alignment system of a wafer stepper
Justiersystem eines Überdeckungsrepeaters
allocate the time of a central processor to a specific job
die Zeit eines Zentralprozessors einem bestimmten Job zuweisen
analogue-to-digital and D-A converter
A-D-D-A-Wandler
annihilate a bubble
eine Blase vernichten
appear as defects in the printed image
in dem übertragenen Bild als Defekte erscheinen
appear in graphic form on a terminal screen in
grafischer Form auf einem Bildschirm erscheinen
apply a layer of photoresist uniformly to the oxidized silicon
eine Fotoresistschicht gleichmäßig auf das oxydierte Silizium aufbringen
apply a potential to electrostatic beam blanking plates
ein Potential an das elektrostatische Strahlaustastsystem legen
apply a thick layer of a resist to the wafer
eine dicke Resistschicht auf dem Wafer aufbringen
apply a voltage
eine Spannung anlegen
architecture of a buffer
Aufbau eines Pufferspeichers
arrangement of data in a record
Anordnung der Daten in einem Satz
arrangement of parts of a computer instruction
Anordnung von Teilen eines Maschinenbefehls
array of alignment targets on a wafer
Justiermarkenanordnung auf einem Wafer
array of dice on a photomask
Verband von Einzelbildern auf einer Fotomaske
as implanted
Implantations .... implantiert
(ohne Nachbehandlung)
as-deposited
aufgedampft
(ohne nachfolgende Wärmebehandlung)
as-deposited
aufgebracht
as-deposited silicon island
abgeschiedene Silizium-Schichtinsel
(ohne Ausheilung)
as-grown
unbehandelt
(Kristall)
as-grown state
reiner Züchtungszustand
(Kristall)
as-sawn slice
Halbleiterscheibe im gesägten Zustand
assemble the two bytes into a 16-bit word
die zwei Bytes zu einem 16-Bit-Wort zusammensetzen
assign each task a priority level
jeder Aufgabe eine Prioritätsebene zuordnen
as-solidified
erstarrt
(ohne weitere Behandlung)
as-spun film
aufgeschleuderte Schicht
as-sputtered
aufgestäubt
attach the tape-mounted chip directly to a substrate
das foliengebondete Chip direkt auf einem Substrat befestigen
attract a bubble
eine Blase anziehen
availability approaching 90 % in a manufacturing environment
Verfügbarkeit von etwa 90 % unter Produktionsbedingungen
average over a number of readings
über eine Reihe von Meßwerten mitteln
basic circuit for a dual-slope converter
Grundschaltung für einen Zweirampenumsetzer
basic part of a computer system
Grundeinheit einer Rechenanlage
8-bit D-A converter
8-Bit-D-A-Wandler
bit sequence in a frame
Bitfolge in einem Datenübertragungsblock
bondable with a positive resist
bindungsfähig mit einem Positivresist
boost performance by a factor of as much as 10
die Leistung um einen Faktor von nicht weniger als 10 steigern
boost the driving capability of a microprocessor
die Treiberleistung eines Mikroprozessors verstärken
bring in a new task
eine neue Aufgabe aufnehmen
broaden the effective size of a focussed beam
den effektiven Durchmesser eines fokussierten Strahls vergrößern
build D-A converters in hybrid form
D-A-Wandler in Hybridtechnik bauen
build up a static charge
eine statische Ladung aufbauen
build up the total image of a circuit from rectangles
die Gesamtstruktur eines Schaltkreises aus Rechtecken zusammensetzen
build-up of a space charge region
Aufbau eines Raumladungsbereichs
bump symmetry on all four sides of a chip
Bondhügelsymmetrie auf allen vier Seiten eines Chips
carry from a previous digit position
Übertrag von einer vorausgehenden Ziffernstelle
carry into a digit position
Übertrag in eine Ziffernstelle
characterization of a global alignment on a wafer stepper
Bewertung einer Gesamtwaferjustierung auf einem Wafer-Stepper
charge-balancing A-D converter
Ladungsausgleich-A-D-Umsetzer
check periodically against a fiducial mark on the stage
periodisch an einer Justiermarke auf dem Tisch überprüfen
check periodically against a fiducial mark on the stage
in periodischen Zeitabständen gegen eine Meßmarke auf dem Tisch prüfen
chordal flat of a wafer
Anschliff eines Wafers
clamp in a computer logic circuit
Begrenzerschaltung in einem logischen Schaltungsaufbau eines Rechners
classify a defect as non-defective
einen Defekt als unterhalb der Defektgrößengrenze liegend einstufen
close a circuit
einen Schaltkreis schließen
coat with a one-micron film of photoresist
mit einem 1 μm dicken Resistfilm beschichten
collapse a bubble
eine Blase vernichten
come to a halt
stoppen
command a jump to program memory address 33
einen Sprung zur Programmspeicheradresse 33 befehlen
common onto a single data output line
auf eine einzige Datenausgangsleitung zusammenführen
completion of a read operation
Abschluß eines Lesevorgangs
compose rectangles into a complex pattern
Rechtecke zu einer komplexen Struktur zusammensetzen
compress the entire CPU into a single chip
die gesamte Zentraleinheit in ein Einzelchip packen
conceptualize a design
einen Entwurf konzeptionell erarbeiten
conceptualize a design
eine Entwurfskonzeption machen
conductive path on a substrate
Leiterbahn auf einem Substrat
conductive pattern of a circuit
Leiterstruktur eines Schaltkreises
configure a custom system
eine kundenspezifische Anlage zusammenstellen
connect a number of terminals to a central processor
eine Reihe von Datensichtgeräten mit dem Zentralprozessor verbinden
connect to a common system bus
an einen gemeinsamen Systembus anschließen
contents of a file
Dateiinhalt
continual recirculation of a signal
ständiger Umlauf eines Signals
contrast of a resist
Kontrast eines Resists
convert the designer's topography into a primary pattern
die Entwurfstopografie in eine Primärstruktur umsetzen
correctness of alignment between reticles in a set
Richtigkeit der Justierung zwischen Retikeln in einem Satz
couple into a film of resist
in eine Resistschicht einkoppeln
create a mask
eine Maske herstellen
(deren Struktur auf Bauelementsubstrate übertragen wird)
create a 4.0-mm wide image of the slit at the mask plane
ein 4 mm breites Bild des Spalts in der Maskenebene erzeugen
create a new copy of the file
eine neue Kopie der Datei erzeugen
create a perfect null
eine vollkommene Nullanzeige erreichen
cross at a common quiescent point
sich in einem gemeinsamen Arbeitspunkt schneiden
cross over a bond
über eine Bondstelle hinwegführen
cross over a bond
eine Bondstelle überqueren
current contents of a counter
aktueller Inhalt eines Zählers
custom-built-fitted for a variety of applications
für verschiedene Anwendungszwecke entwickelt
cut off the least significant digits of a number
die niedrigstwertigen Ziffern einer Zahl abschneiden
cut the mask generation time down by a factor of two to three
die Maskenherstellungszeit um das Zwei- bis Dreifache verringern
(reduzieren)
data compression as large as 15:1
Datenverdichtung bis zu 15:1
decompose into a number of stripes
in eine Reihe von Streifen zerlegen
decompose the pattern into a number of elements
das Belichtungsmuster in eine Reihe von Elementarfiguren zerlegen
define patterns with geometries as small as 0.2 micrometre
Strukturen mit Elementbreiten bis zu 0,2 μm scharf abbilden
deflect in a curved path
in eine gekrümmte Bahn ablenken
deflect the electron beam in a raster mode along one axis
den Elektronenstrahl rasterartig in einer Richtung ablenken
deflect the electron beam in a raster over a 64μm square field
den Elektronenstrahl rasterförmig über ein Feld von 64 μm × 64 μm ablenken
delegate communications management to a separate device
die Durchführung der Datenübertragung einem getrennten Gerät übertragen
demagnify the electron beam to a usable size for microfabrication
den Elektronenstrahl auf eine nutzbare Größe für die Mikrostrukturherstellung verkleinern
demagnify to a probe of 10 Ä
auf einen Sondendurchmesser von 10 Ä verkleinern
detect a null in the X-ray detectors
in den Röntgenstrahlendetektoren eine Null anzeigen
determine exact stage position to tolerances ranging from 1/8 to 1/48 wavelength of a HeNe laser
die genaue Tischposition mit einer Toleranz von 1/8 bis 1/48 Wellenlänge eines Helium-Neon-Lasers bestimmen
develop for a fixed time
eine bestimmte Zeit
lang
entwickeln
diagnose an error in a program
einen Fehler in einem Programm diagnostizieren
diagnose the computer from a remote site over telephone lines
den Rechner vom Fernbedienungsplatz aus über Telefonleitungen diagnostizieren
(prüfen)
diagrammatic representation of a computer program
Schemadarstellung eines Rechenprogramms
differ by a fixed numerical factor
sich um einen festen Faktor unterscheiden
diffuse impurities into a slice of germanium
Störatome in eine Germaniumscheibe eindiffundieren
digitize a layout
ein Layout digitalisieren
dimension below a few tenths of nanometres
Abmessung unter einigen zehntel Nanometer
dimensional inspection in a microdensitometer mode
Kontrolle der Abmessungen nach einem Mikrodensitometerverfahren
direct stepping of a reticle onto wafers
direkte Übertragung einer Retikelstruktur auf Wafer
(im Step-und-Repeat-Verfahren)
direct writing of the device pattern with a scanning electron beam
Direktschreiben der Bauelementstruktur mit einem Rasterelektronenstrahl
displacement of a benchmark
Verschiebung einer Festpunktmarke
display on a terminal
Anzeige auf einem Datensichtgerät
dissect a pattern into stripes
eine Struktur in Streifen zerlegen
distribute to a large number of gates
an eine große Zahl von Gattern verteilen
double-buffered D-A converter
D A-Umsetzer mit doppelter Pufferung
draw a pattern in an electron-sensitive resist
eine Struktur in elektronenempfindlichem Resist schreiben
draw at a 10×magnified scale
10 fach vergrößert zeichnen
drive the wafer stage relative to the mask stage in a precise and controlled fashion
den Wafertisch in bezug auf den Maskentisch in einer genau kontrollierten Weise antreiben
(ansteuern)
drop as low as 2 V
bis auf 2 V abfallen
dual-slope
integrating type
A-D converter
2-Rampen-A/D-Umsetzer
dual-slope
integrating type
A-D converter
A/D-Wandler nach dem Zweiflankenverfahren
dual-slope
integrating type
A-D converter
Zweirampen-A-D-Umsetzer
dump the contents as a printout
den Speicherinhalt als Ausdruck ausgeben
dump the contents to a backing store
den Inhalt im Hilfsspeicher Zwischenspeichern
edge of a wafer
Rand eines Wafers
edgeboard connector of a p.c. board
Stekkerleiste einer gedruckten Schaltung
element of data descriptive of a record
Datenelement zur Beschreibung eines Satzes
eliminate a record from a file
einen Satz aus einer Datei eliminieren
emit a continuous signal
ein Dauersignal aussenden
employ extensively in a wide variety of applications
in hohem Maße für die verschiedensten Verwendungszwecke benutzen
empty position on a recording medium
leere Stelle auf einem Speichermedium
enclose in a shield
abschirmen
enclose within a shield
abschirmen
encompass a range of wavelengths
einen Wellenlängenbereich umfassen
enlarged image of a single circuit pattern
vergrößertes Bild einer einzigen Schaltkreisstruktur
ensure a reliable electrical interconnection
eine zuverlässige elektrische Verbindung gewährleisten
enter as another variable in
als eine weitere Variable eingehen in
entry to a routine
Einsprung in eine Routine
exit from a subroutine
aus einem Unterprogramm austreten
expand into a Fourier series
in eine Fourier-Reihe entwickeln
expose a pattern in a contact printer through a chrome mask
eine Struktur in einer Kontaktbelichtungsanlage durch eine Chromschablone belichten
expose a wafer in step-repeat fashion
einen Wafer im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
expose directly a polymer film
eine Polymerschicht direkt belichten
expose in a step-and-repeat fashion
im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
expose only a die at a time
jeweils nur ein einzelnes Chip belichten
expose patterns deep into a thick coating of resist
Strukturen tief in eine dicke Resistschicht hinein exponieren
expose rectangles in a single shot
Rechtecke mit einem Belichtungsstempel belichten
expose the photoresist on the surface of a wafer to the patterns on a reticle
das Fotoresist auf der Oberfläche eines Wafers mit den Strukturen eines Retikels belichten
exposure time on the order of a minute
Expositionszeit von etwa einer Minute
exposure time on the order of a minute
Belichtungszeit von etwa einer Minute
extend to a distance less than a wavelength of light away from the mask
sich auf weniger als eine Lichtwellenlänge von der Maske erstrecken
extract a unit of data from memory
eine Dateneinheit aus dem Speicher abziehen
fabricate device structures down to the 100 Ä range
Bauelementstrukturen bis in den 100-Ä-Bereich herstellen
fall below a certain minimum
einen bestimmten Minimalwert unterschreiten
fall below a critical value
unter einen kritischen Wert abfallen
fallout from a series of qualification tests
Aussonderung aus einer Reihe von Qualifikationsprüfungen
fallout from a series of qualification tests
Herausfallen aus einer Reihe von Qualifikationsprüfungen
fast-acceleration A-D converter
schneller A-D-Wandler
fault reporting on a turnkey basis
reparaturgerechte Fehlermitteilung
(mit detaillierter Angabe des auszutauschenden Bauelements)
features ranging from as small as 1.5 μm to as large as 3.0
μm Strukturbreiten in einem großen Variationsbereich von 1,5 μm bis 3,0 μm
feed a comparator
einen Komparator speisen
feed the program via an I-O port to a computer for storage in magnetic tape
das Programm über einen Eingabe-Ausgabe-Kanal in einen Computer zur Speicherung auf Magnetband eingeben
feed the pulses into a counter
die Impulse einem Zähler zuführen
feed the pulses into a counter
die Impulse in einen Zähler eingeben
fill in the feature in a raster-like motion
das Strukturelement in rasterartiger Bewegung ausfüllen
(auspinseln)
flag as prime candidates for swapping back to mass storage
als erste Anwärter für die Auslagerung in den Großspeicher kennzeichnen
flag as uncorrectable
als unkorrigierbar kennzeichnen
(Fehlerbündel)
flat to within a few microns
plan bis auf einige Mikrometer
form a mask pattern by scanning a raster in a serpentine manner
eine Maskenstruktur durch serpentinenförmiges Abrastern erzeugen
form electrical connections between the chip and a metal pattern
elektrische Verbindungen zwischen dem Chip und einem Metallschaltkreis herstellen
formation of a charge layer
Entstehung einer Ladungsschicht
formation of a charge layer
Bildung einer Ladungsschicht
fractional part of a decimal numeral
Bruchteil einer Dezimalzahl
function by a different mechanism
nach einem anderen Mechanismus arbeiten
generation of reticles as an intermediate step in producing masks
Herstellung von Retikeln als Zwischenschritt in der Maskenherstellung
get the machine up and running as quickly as possible
die Anlage so schnell wie möglich wieder betriebsfähig machen
glass substrate coated with a high-resolution emulsion
Glassubstrat mit einer hochauflösenden Emulsionsschicht
house a larger chip in a smaller package/ to
ein größeres Chip in einem kleineren Gehäuse unterbringen
identify a file
eine Datei zuordnen
identify by a generation number
durch eine Erstellungsnummer kennzeichnen
identify the erroneous bit by a corresponding binary 1
das fehlerhafte Bit durch eine entsprechende binäre 1 kennzeichnen
image a reticle on the photoresist layer
ein Retikel auf die Fotoresistschicht abbilden
image an aperture in the plane of a second aperture
eine Blende in die Ebene einer zweiten Blende abbilden
image only a subrectangle on the target
nur ein Rechteck auf das Objekt abbilden
image onto a wafer with photons
mit Photonen auf einen Wafer abbilden
image transfer at a 1:1 ratio
Strukturübertragung im Verhältnis 1:1
image with a demagnification of 10:1 onto a wafer
mit einer Verkleinerung von 10:1 auf den Wafer abbilden
imaging process of a step-and-repeat aligner
Abbildungsprozeß eines Scheibenrepeaters
importance of a message
Bedeutung einer Nachricht
impose a major limitation
eine wesentliche Be Schränkung auferlegen
impose a succession of patterns
eine Folge von Strukturen aufbringen
impurity content of a diffused silicon wafer
Störstellengehalt eines diffundierten Siliziumwafers
inclusion in a single chip device
Einbau in ein Einchipbauelement
incorporate a complementary insulating layer eine
zusätzliche Isolationsschicht einbringen
incorporate a low quantity of impurity into silicon
eine geringe Zahl von Störatomen in Silizium einbauen
increase as the square of the field
mit dem Quadrat des Bildfeldes zunehmen
inhibit a hardware feature
eine Systemeinrichtung sperren
input from a keyboard
Tastatureingabe
input from a keyboard
Eingabe über Tastatur
insure exposure in a precise spatial relationship to the mark
die Belichtung in einer genauen räumlichen Beziehung zur Marke gewährleisten
integrating dual-slope D-A-converter
2-Rampen-D-A-Umsetzer
intelligible to a processor
lesbar für einen Prozessor
interconnect interactively on a CRT-based graphics editor
auf einem Bildschirmgrafikeditor interaktiv verbinden
(z. B. Schaltkreiselemente)
interconnect of a multilayer construction
Verbindungsleitung einer Mehrschichtkonstruktion
interconnect separate circuits on a common substrate
getrennte Schaltkreise auf einem gemeinsamen Substrat miteinander verbinden
interface with a digital computer
mit einem Digitalrechner koppeln
interface with a digital computer
an einen Digitalrechner anschließen
interface with a microprocessor
sich an einen Mikroprozessor anschließen lassen
interfaceable via a cable
koppelbar über eine Anschlußleitung
interpose a filter between condenser and mask
ein Filter zwischen Kondensor und Maske einsetzen
interpose a processor
einen Prozessor Zwischenschalten
interrogate the status via a special support bus
den Status über einen speziellen Hilfsbus abfragen
interruption of processing by a system failure
Unterbrechung der Verarbeitung durch Anlagenausfall
inverse-blocking voltage of a junction rectifier
Sperrspannung eines Sperrschichtgleichrichters
inverted R-2R D-A converter
D A-Umsetzer mit invertiertem R-2R-Widerstand-Netzwerk
irradiate a mask onto the resist-coated wafer
das Maskenbild auf den resistbeschichteten Wafer projizieren
item in a set of information
Angabe in einem Informationssatz
join a microcircuit to an external circuit
einen Mikroschaltkreis mit einer äußeren Schaltung verbinden
keep a log of all requests
ein Protokoll von alien Anforderungen erhalten
keep downtime to a minimum
die Ausfallzeit minimal klein halten
layer of gold less than a micrometre thick
Goldschicht von einer Dicke unter 1 μm
layer-to-layer overlay on a wafer
Überdekkung der Schichten auf einem Wafer
length of a register
Registerlänge
lid of a can
Deckel eines Gehäuses
lid of a can
Gehäusedeckel
lie along a common axis
auf einer gemeinsamen Achse liegen
link directly to a single bus
mit einem Einzelbus direkt verbinden
link the customer to the system via a telephone line
den Kunden über eine Telefonleitung mit der Anlage verbinden
link to a central controller
an ein Zentralsteuergerät anschließen
load a control program at the reset start address
ein Steuerprogramm auf der Rücksetzstartadresse laden
(einlesen)
load a new mask into the system
eine neue Maske in das System einschleusen
load a program at a specified address
ein Programm in einer bestimmten Adresse einlesen
load into a cassette
magazinieren
load the error data on a magnetic tape
die Fehlerdaten auf einem Magnetband einschreiben
locate the radix point at a fixed predetermined position
den Radixpunkt in einer bestimmten vorgewählten Stelle setzen
location of the bond pads in the corners of a chip
Lage der Bondinseln in den Chipecken
logic Simulation of the gate level performance of a circuit
logische Simulation der Schaltungsleistung auf Gatterebene
main memory of a central processor
Zentralspeicher
maintain a constant resist feature size
eine konstante Linienbreite im Resist einhalten
make a vertical transition from the level of the IC to the level of the substrate
einen vertikalen Übergang von der IC-Ebene zur Substratebene herstellen
make up a block to a fixed size
einen Informationsblock auf eine bestimmte Länge auffüllen
manufacturing sequence of a resistive network
Herstellungsfolge eines Widerstandsnetzwerks
maximize the probability of detecting a failure
die Wahrscheinlichkeit eines Fehlernachweises maximieren
maximum gain of a transistor
Maximalverstärkung eines Transistors
membrane supported on a silicon frame
Membran auf Siliziumrahmen
metal leads of a DIP
Anschlußbeine eines DIL-Gehäuses
micro-architecture of a computer
Mikroaufbau eines Rechners
microwave receiver on a GaAs chip
Mikrowellenempfänger auf einem GaAs-Chip
minify the image of a variable aperture
das Bild einer veränderlichen Blende verkleinern
minimum dimension down to 700 A
kleinste Abmessung bis zu 700 Ä
model A to model B retrofit
nachträgliche Aufrüstung des Modells A zum Modell B
modify the contents of a storage location
den Inhalt einer Speicherzelle ändern
momentary application of a reverse bias voltage
kurzzeitige Anlegung einer Sperrvorspannung
monitor stage position by a laser interferometer
die Tischposition laserinterferometrisch überwachen
(kontrollieren)
monolithic D-A converter
monolithischer D-A-Umsetzer
move from row to row in a serpentine pattern
sich von Zeile zu Zeile serpentinenartig bewegen
move the beam across the wafer in a raster scan fashion
den Strahl rasterförmig über den Wafer führen
move the X-Y stage to a given position
eine bestimmte Position mit dem Koordinatentisch anfahren
move to the location of a fiducial mark den
Ort einer Justiermarke anfahren
multichannel A-D converter
Mehrkanal-A-D-Umsetzer
multichip mounting on a board
Mehrchipmontage auf einer Leiterplatte
negate the result of a Boolean operation
das Ergebnis einer Booleschen Verknüpfung negieren
normal position of a contact
Grundstellung eines Kontakts
normal position of a contact
Normalstellung eines Kontakts
occupy a location
einen Speicherplatz belegen
occupy a minimal area on the wafer
eine minimale Fläche auf dem Wafer einnehmen
offset by a known amount
um einen bekannten Betrag versetzt
opaque line on a clear background
lichtundurchlässige Linie auf transparentem Untergrund
operate at high speed and with repeatability in a real plant environment
sehr schnell und reproduzierbar unter echten Produktionsbedingungen arbeiten
operate at twice the speed of a 5-V device
mit der zweifachen Geschwindigkeit eines 5-V-Bauelements arbeiten
operate off a single 5-V supply
von einer einzigen 5-V-Spannungsquelle gespeist werden
operate off a wide range of power supplies
sich an Netzgeräte mit großem Spannungsbereich anschließen lassen
operate on a different principle
nach einem anderen Prinzip arbeiten
operate on a non-interrupt philosophy
nach dem Nichtunterbrechungsprinzip arbeiten
operate over a 1-to-5 megahertz range
im 1- bis 5-MHz-Bereich arbeiten
operate with a fixed clock
mit einem festen Takt arbeiten
operating parameter of a finished device
Betriebsparameter eines fertigen Bauelements
operation in a coherent light regime
Betriebsart mit kohärentem Licht
output a 1 in bit position 0 of the data bus
eine 1 in Bitposition 0 des Datenbusses ausgeben
output a test program
ein Testprogrämm ausgeben
overlay a pattern on lower-level patterns eine
Struktur mit darunterliegenden Strukturen zur Deckung bringen
overlay precision of two levels on a wafer
Überdeckungsgenauigkeit von zwei Ebenen auf einem Wafer
overlay within a specified tolerance
sich mit einer festgelegten Toleranz überdecken
pack more and more circuit elements and functions on a monolithic silicon substrate
immer mehr Schaltungselemente und Funktionen in einem monolithischen Siliziumsubstrat integrieren
pack more than 100,000 transistors onto a single chip
über 100 000 Transistoren in einem Einzelchip integrieren
pack tens of thousands of electronic functions into a single chip
Zehntausende elektronischer Funktionen in ein Einzelchip integrieren
package up to eight chips within a 1 in. square module
bis zu acht Chips in einem Baustein von 1 Quadratzoll kapseln
partition the circuit function over a set of boards
die Schaltkreisfunktion über mehrere Leiterplatten verteilen
partitioning of a communication channel
Aufteilung eines Datenübertragungskanals
partitioning of a complex pattern
Unterteilung einer komplexen Struktur
pass 20 % of inspected fields falsely as good
20 % der kontrollierten Felder fälschlicherweise als gut anerkennen
pattern a reticle
ein Retikel mit dem Bildgenerator herstellen
pattern a wafer by stepping through 200 fields
einen Wafer schrittweise durch 200 Felder strukturieren
perform a single computer operation
eine einzige Rechneroperation ausführen
perform an increased number of circuit functions within a single IC
eine größere Anzahl von Schaltungsfunktionen in einem einzelnen integrierten Schaltkreis ausführen
permanent feature of a device
Dauereinrichtung eines Geräts
pinch-off voltage of a depletion-mode device
Abschnürspannung eines Bauelements des Verarmungstyps
pinpoint a bad component on a p.c. board
ein defektes Bauteil auf einer Leiterplatte lokalisieren
placement on a circuit board
Einsetzen auf einer Leiterplatte
planarize by a bottom polymer layer
durch eine Polymergrundschicht planarisieren
position the beam at the centre of a field
den Strahl in der Mitte eines Feldes positionieren
position the resist within a few micrometres of the mask
das Resist in einem Abstand von wenigen Mikrometern von der Maske positionieren
positioning of a mask with respect to a sample
Positionierung einer Maske in bezug auf eine Probe
power by a step motor
durch einen Schrittmotor antreiben
power capability of a bipolar transistor
Leistungsfähigkeit eines Bipolartransistors
power handling capacity of a FET
Leistungsvermögen eines FET
power handling capacity of a FET
Belastbarkeit eines FET
powered by a single 5-V supply
von einer einzigen 5-V-Spannungsquelle gespeist
prealigned in a special frame
in einem Spezialrahmen vorjustiert
predesignate for a particular mask level/ to
für eine bestimmte Maskenebene vorbestimmen
prevent moisture from entering into a connector
das Eindringen von Feuchtigkeit in eine Steckverbindung verhindern
primary pattern generation with a serial electron beam
Primärstrukturerzeugung mit einem seriellen Elektronenstrahl
printout of the contents of a file
Ausdruck des Dateiinhalts
process as an entity
als Einheit verarbeiten
produce arrays of images by photoreduction with a step-and-repeat camera
regelmäßige Bildfelder durch Verkleinerung mit einem Fotorepeater herstellen
prohibitive in a high-volume application
nicht akzeptabel für Großserienanwendung
project a pattern onto the mask
eine Struktur auf die Maske projizieren
project a reduced image onto a wafer
ein verkleinertes Bild auf einen Wafer projizieren
project a single large format image at final size
ein einziges großformatiges Bild im Abbildungsmaßstab 1:1 projizieren
project IC patterns with a 5:1 reduction ratio onto a wafer
Schaltkreisstrukturen mit 5facher Verkleinerung auf einen Wafer projizieren
project mask alignment through a lens
Maskenjustierung durch ein Objektiv im Projektionsverfahren
project the image from a mask onto a photosensitive resist
das Bild von der Maske auf den Fotolack projizieren
project the image of the first aperture on a second aperture
das Bild der ersten Blende auf eine zweite Blende projizieren
project the reticle image down through a reduction lens
das Retikelbild durch ein Verkleinerungsobjektiv projizieren
propagate a small zero-level charge through the device
eine kleine Grundladungsmenge durch das Bauelement durchschieben
provide a great deal of information about
sehrviele Informationen liefern über
provide a high degree of reproducibility
ein hohes Maß von Reproduzierbarkeit gewähren
provide a more reliable signal for registration
ein zuverlässigeres Signal für die Justierung liefern
provide in response to a demand
auf eine Anforderung bereitstellen
provoke deliberately the reappearance of a problem
das erneute Auftreten eines Problems absichtlich hervorrufen
quad-slope A-D converter
A-D-Wandler nach dem Vierflankenverfahren
quartz window of a ceramic package
Quarzfenster eines Keramikgehäuses
reach a preset level
einen vorgewählten Wert erreichen
read data from a pattern memory
Strukturdaten aus einem Speicher lesen
read from a magnetic memory medium
von einem Magnetspeichermedium auslesen
read in data at a clock rate
Daten bei einer Taktrate einlesen
read out the contents of a memory
den Inhalt eines Speichers auslesen
realize a throughput of 60 wafers per hour
einen Durchsatz von 60 Wafern je Stunde erzielen
recall a reticle automatically
ein Retikel automatisch abrufen
(aus der Retikelbibliothek)
recognize address 0 as one of its own
Adresse 0 als eigene erkennen
record of a given size
Datensatz einer bestimmten Größe
record the responses in a result memory
die Antworten in einem Ergebnisspeicher registrieren
recreation of a file
Wiederherstellung einer Datei
(nach einer größeren Betriebsstörung)
rectilinear array of a mask
Schablonenfeld
render a device non-functional
ein Bauelement funktionsuntüchtig machen
repeat the pattern on a second level mask accurately
die Struktur auf der zweiten Maske eines Satzes genau wiederholen
replica of a master pattern
Wiedergabe einer Originalstruktur
replica of a master pattern
Abbild einer Originalstruktur
represent at the output as a rectangular waveform
am Ausgang als Rechteckwellenform darstellen
represent mathematically by a polynomial
mathematisch durch ein Polynom darstellen
reproduce as 4 micron wide lines on the wafer
sich als 4 μm breite Linien auf dem Wafer abbilden
(darstellen)
reproduce pattern details to a greater or lesser degree of accuracy
Strukturdetails mit einem mehr oder weniger hohen Genauigkeitsgrad abbilden
request a bus cycle from the bus control logic
einen Buszyklus von der Bussteuerlogik anfordern
request a stage move at the terminal
eine Tischverschiebung am Terminal anfordern
(Lithografie)
require a significant amount of time
einen wesentlichen Zeitaufwand erfordern
rerun a portion of the program
einen Teil des Programms wiederholen
rescale the chip to a different size by computer
das Chip auf eine andere Größe mit Computer neu skalieren
resistive state with a voltage drop
ohmscher Zustand mit Spannungsabfall
restrict all processing of a slice to a single machine
die gesamte Bearbeitung einer Scheibe auf ein einziges Gerät beschränken
resume a job
einen Job fortsetzen
resume a job
einen Jobablauf wiederaufnehmen
right-hand position of a number
Einerstelle einer Zahl
rise to a logic 1
auf logisch Eins schalten
rotate past a set of read-write heads
an Lese-Schreib-Köpfen vorbeischwenken
rotate the wafer back to a horizontal plane
den Wafer wieder in eine Horizontalebene drehen
rotation around a fixed pivot axis
Drehung um eine feste Achse
R-2R ladder network D-A converter
D-A-Umsetzer mit R-2R-Widerstand-Netzwerk
run a program on two different computers
ein Programm auf zwei verschiedenen Rechnern abarbeiten
(durchlaufen lassen)
run a test
einen Versuch durchführen
run with a small voltage
mit kleiner Spannung betrieben werden
satisfy a logical requirement
eine logische Forderung erfüllen
scale as 1/K
sich im Verhältnis von 1/K verkleinern
scale by a factor of 0.8
um einen Faktor von 0,8 skalieren
scale up as K2
sich mit K2 vergrößern
scan a focussed E-beam across an area on the wafer
eine Elektronensonde über eine Fläche auf dem Wafer ablenken
scan a full 5-mm-square field
ein volles 5 mm × 5 mm-Feld abrastern
scan a light spot over a defect
eine Lichtsonde im Abtastverfahren über einen Defekt führen
scan a machine state into the central processor
einen Maschinenzustand in den Zentralprozessor abrufen
(über Datenabfrageleitung)
scan a raster in a serpentine manner
mäanderförmig abrastern
scan each subfield by the electron beam in a raster
jedes Unterfeld mit dem Elektronenstrahl abrastern
(rasterförmig abtasten)
scan every element in the pattern with a finely focussed spot beam
jedes Strukturelement mit einem feinfokussierten Strahl abrastern
scan over a fiducial mark on the stage
eine Justiermarke auf dem Tisch abtasten
scanning motion in a single direction
Abtastbewegung in einer Richtung
scanning motion in a single direction
Abrasterbewegung in einer Richtung
screen out unreliable units in a non-destructive manner
unzuverlässige Einheiten zerstörungsfrei aussondern
scroll a display of storage ahead or backwards
eine Speicheranzeige vor- oder zurückrollen
search a set of data
einen Datensatz suchen
search for a new task in the task library
nach einer neuen Aufgabe in der Aufgabenbibliothek suchen
search for a single character
nach einem einzelnen Zeichen suchen
section of a program
Abschnitt eines Programms
segmentation of a program
Segmentierung eines Programms
semiconductor components in a silicon chip
Halbleiterbauelemente in einem Siliziumchip
sequential steps in a bond cycle
Folgeschritte in einem Bondzyklus
serve a wide variety of markets
vielfältigen Marktansprüchen gerecht werden
serve as the input to an A-D converter
als Eingang zu einem A-D-Wandler dienen
set the output to a logic 1
den Ausgang auf logisch Eins setzen
single digit of a decimal number
Einzelziffer einer Dezimalzahl
size of a block
Blockgröße
slanting inner surface of a V groove
schräge Innenfläche eines V-förmigen Grabens
sleeping sickness of a transistor
allmähliches Versagen eines Transistors
(durch Einwirkung von Feuchtigkeit)
sloping wall of a V groove
schräge Wand eines V-Grabens
slot circuit boards into a card cage
Leiterplatten in einen Kartenkäfig einschieben
span only a few passes
sich nur über wenige Ablenkfelder erstrecken
specify a pattern as a series of flashes of varying widths and lengths
eine Struktur als eine Serie von Belichtungsstempeln unterschiedlicher Breite und Länge spezifizieren
spin a resist onto the wafer
ein Resist auf den Wafer aufschleudern
spin down a layer
eine Schicht aufschleudern
spin on a photoresist
einen Fotolack aufschleudern
spin on a wafer
auf einen Wafer schleudern
(z. B. Resist)
split up the computing power among a number of smaller boards
die Rechenleistung auf eine Reihe kleinerer Platten aufteilen
spread around a mean concentration
Streuung um eine mittlere Konzentration
square mesa measuring 40 μm on a side
quadratische Mesa mit 40 μm Kantenlänge
squeeze more power out of a board
mehr Leistung aus einer Platte herausholen
start the A-D conversion with one instruction
die A-D-Umsetzung mit einem Befehl beginnen
start-up of a microcomputer
Inbetriebnahme eines Mikrocomputers
steer a bubble from one path to another
eine Blase von einem Weg auf einen anderen steuern
(Blasenspeicher)
stitch together subfields to a large chip
Teilfelder zu einem großen Chip zusammenfügen
strike a target
auf eine Zielelektrode treffen
strip of a bumped tape
Streifen eines Bandes mit aufgebrachten Bondhügeln
strip of a chip
Streifen eines Chips
(Rasterscan-Verfahren)
stripe width of a pattern
Streifenbreite einer Struktur
substrate coated with a photoresist
fotoresistbeschichtetes Substrat
substrate loading into a cassette
Laden des Substrats in eine Kassette
sudden death of a transistor
plötzlicher Ausfall eines Transistors
suffer a throughput penalty
einen Durchsatznachteil in Kauf nehmen
superposition on a substrate of patterns from several masks to a precision of 0.1 μm
Überdeckung von Strukturen verschiedener Masken auf einem Substrat mit einer Genauigkeit von 0,1 μm
supply information to a bus
die Daten in einen Bus eingeben
switch on or off via a mains contactor
über einen Netzschalter ein- oder ausschalten
switch to battery prior to a power failure
vor einem Stromausfall auf Batterie umschalten
symmetrical in a left-right sense around a vertical centreline
symmetrisch im Links-Rechts-Sinn um eine vertikale Mittellinie
tailor a quantity to suit the user's need
eine Größe auf das Anwenderbedürfnis abstimmen
tailor the dynamic performance to a given process step
die dynamische Leistung einem bestimmten Prozeßschritt anpassen
take a different approach
einen anderen Lösungsweg gehen
take a negligible drain from the power supply
einen vernachlässigbaren Energieverbrauch haben
take a sample
einen Abtastwert erfassen
(elektrisch)
take up a considerable amount of chip area
eine erhebliche Chipfläche einnehmen
take up as much chip space as the active elements
ebensoviel Chipfläche einnehmen wie die aktiven Elemente
take up less board space than a 64-pin chip carrier
weniger Plattenraum einnehmen als ein Chipträger mit 64 Anschlüssen
17 terminals per side of a 68-pin leadless package
17 Anschlußkontakte je Seite eines anschlußdrahtfreien 68-Pin-Gehäuses
terminate a record
einen Satz beenden
terminate a run
einen Durchlauf beenden
terminate by a channel-program check
wegen eines Kanalbefehlsfehlers beenden
(abbrechen)
terminate with a gold conductor
mit einem Goldleiter abschließen
test point on a p.c. board
Prüfpunkt auf einer Leiterplatte
test problem with a known solution
Prüfaufgabe mit bekannter Lösung
tight registration tolerance over a large mask area
enge Überdeckungstoleranz in einer großen Maskenfläche
trace a hardware fault
einen Maschinenfehler suchen
trace coding errors in a program
Kodierfehler in einem Programm suchen
trace out a pattern element
ein Strukturelement schreiben
tracking A-D converter
A-D-Umsetzer mit Vorwärts-Rückwärts-Zähler
transfer a carry digit to the next higher digit position
eine Übertragsziffer zur nächsthöheren Stelle übertragen
transfer control from one part of a program to another part
aus einem Programmteil in einen anderen springen
transfer control to a monitor routine
die Kontrolle einer Überwachungsroutine übertragen
transfer down a CCD register
durch ein CCD-Register schieben
(weitertransportieren)
transfer of a process from laboratory to production
Überleitung eines Verfahrens aus dem Forschungsstadium in die Produktion
treat the numbers as integers
die Zahlen als ganze Zahlen behandeln
trend systematically within a wafer
innerhalb eines Wafers einen systematischen Trend aufweisen
tune out distortion at a particular wavelength
die Verzerrung bei einer bestimmten Wellenlänge ausschalten
turn around a mask in less than one hour
eine Maske in weniger als einer Stunde fertigstellen
turn the electron beam on and off along each raster line as required
in jedem Rasterstreifen den Elektronenstrahl nach Maßgabe hell- und dunkeltasten
turn-around for a mask set from an engineering design to a working device
Gesamtherstellungszeit für einen Maskensatz vom technischen Entwurf bis zum arbeitsfähigen Bauelement
turn-around for a mask set from an engineering design to a working device
Durchlaufzeit für einen Maskensatz vom technischen Entwurf bis zum arbeitsfähigen Bauelement
two-layer membrane supported by a pyrex ring
Zweischichtfolie auf einem Pyrexring
use the gate as a mask
das Gate als Maske verwenden
(selbstjustierende Technik)
useful working life of a photomask
Lebensdauer einer Fotoschablone
vary as a function of temperature
als Funktion der Temperatur schwanken
vary by as much as 10 % from the centre to the edge of the substrate
sich um bis zu 10 % von der Mitte zum Rand des Substrats ändern
vary inversely as the number of wafer-to-mask contacts
sich im umgekehrten Verhältnis ändern wie die Anzahl der Wafer-Masken-Kontakte
vary the rectangular cross section between 0.1 and 12 μm on a side
den rechteckigen Querschnitt
des Elekronenstrahls
zwischen 0,1 und 12 μm Kantenlänge variieren
vary the spot size and shape as the feature requires
Durchmesser und Form des Strahlquerschnitts entsprechend dem Strukturelement verändern
vary under computer control the dimensions of a shaped beam
die Abmessungen eines Flächenstrahls computergesteuert verändern
verify the design on a cell-by-cell basis
den Entwurf zeilenweise prüfen
voltage across a junction
Spannung an einem pn-Übergang
warp to a dish shape
sich schalenförmig wölben
wire as a diode
als Diode schalten
wire-bonded chip on a hybrid substrate
drahtgebondetes Chip auf einem Hybridsubstrat
wiring side of a printed circuit board
Leitungsseite einer Leiterplatte
wiring side of a printed circuit board
Verdrahtungsseite einer Leiterplatte
write a mask
eine Maske schreiben
write a pattern on a grid
eine Struktur auf ein Raster schreiben
write a wafer
einen Wafer beschreiben
belichten
(Elektronenstrahllithografie)
write amendment data to a magnetic tape
file Änderungsdaten in eine Banddatei schreiben
write data to a tape
ein Magnetband beschreiben
write lines inclined at a 45° angle on the wafer surface
urn 45° geneigte Linien auf die Waferoberfläche schreiben
write out information onto a display screen
Informationen auf einem Sichtgerät ausschreiben
write the accumulator contents into the A-D converter
den Akkumulatorinhalt in den A-D-Wandler einschreiben
write to a file
in eine Datei schreiben
write to a magnetic memory medium
auf ein Magnetspeichermedium schreiben
writing of a master mask
Schreiben einer Originalschablone
writing time for a wafer
Schreibzeit für einen Wafer
yield a field size of 3 mm square after reduction
eine Feldgröße von 3 mm x 3 mm nach Verkleinerung ergeben
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