Terms for subject Microelectronics containing System of Systems

English	German
acquisition range of the fine-alignment system	Erfassungsbereich des Feinjustiersystems
alignment system of a wafer stepper	Justiersystem eines Überdeckungsrepeaters
basic part of a computer system	Grundeinheit einer Rechenanlage
compensating capability of the system	Kompensationsmöglichkeit der Anlage
configure systems with any combination of test features	Anlagen mit beliebiger Kombination von Kontrollparametern zusammenstellen
connection of appropriate channels of two computer systems	Verbindung entsprechender Kanäle von zwei Rechenanlagen
direct exposure of wafers by the electronbeam system	Direktbelichtung von Wafern durch die Elektronenstrahlanlage
dumping of the data from block buffers to the shifter system	Umspeicherung der Daten von Blockpuffern zum Schiebesystem
early-warning type of system	Frühwarnanlage
exposed rectangle of round beam system	belichtetes Rechteck einer Punktstrahlanlage
guide of the bonding system	Führung der Bondanlage
implementation of an automatic alignment system	Realisierung eines automatischen Justiersystems
interruption of processing by a system failure	Unterbrechung der Verarbeitung durch Anlagenausfall
ion projection system for production of ICs	Ionenprojektionsanlage zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen
mask-to-wafer positioning system with six degrees of freedom	Maske-Wafer-Positioniersystem mit sechs Freiheitsgraden
monitor the performance of the system	die Leistung der Anlage überwachen
multipurpose capability of a system	Möglichkeit mehrerer Funktionen einer Anlage
one-of-a-kind microprocessor-based system	Einzelanlage auf Mikroprozessorbasis
optical portion of the system	Optikteil der Anlage
out-of-contact mask alignment system	Abstandsjustier- und Belichtungsgerät
partial coherence factor of the lens system	Teilkohärenzfaktor des Objektivsystems
power-up of system	Einschalten des Systems
repeated and rapid turning on and off of the system	schnelles wiederholtes Einund Ausschalten der Anlage
schematic of alignment system	Schemadarstellung des Justiersystems
shadow mask of an ion implantation system	Schattenmaske einer Ionenimplantationsanlage
start up of the system	Einschalten der Anlage
target acquisition capability of the wafer-to-reticle alignment system	Markenerfassungsmöglichkeit des Wafer-Retikel-Justiersystems
thermode of the bonding system	Bondwerkzeug der Bondanlage
time advantage of the EB system	Zeitvorteil der Elektronenstrahlanlage
user control of system operation	Kontrolle des Anlagenbetriebs durch den Benutzer
user control of system operation	Steuerung des Anlagenbetriebs durch den Benutzer
work chamber of an ion milling system	Kammer einer Ionenätzanlage
work chamber of an ion milling system	Ionenätzkammer