Terms for subject Microelectronics containing Resolution

English	Russian
atomic resolution microscopy	микроскопия атомного разрешения
fine resolution	высокое разрешение
high-resolution	с высоким разрешением
high-resolution configuration	структура с высоким разрешением
high-resolution electron microscopy	электронная микроскопия высокого разрешения
high-resolution electron-beam system	электронно-лучевая установка с высоким разрешением
high-resolution imaging	формирование рисунка с высоким разрешением
high-resolution processing	фотолитография с высоким разрешением
high-resolution screening	прецизионная трафаретная печать
high-resolution transmission electron microscopy	электронная микроскопия высокого разрешения
line-width resolution	разрешающая способность, определяемая шириной линии
line-width resolution	минимальная ширина линии
lithographic resolution	разрешающая способность процесса литографии
low resolution	низкое разрешение
low resolution	низкая разрешающая способность
low-resolution registration	совмещение с низким разрешением
mask resolution	разрешающая способность маски
optical lithographic resolution	разрешающая способность фотолитографии
positional resolution	точность позиционирования
resolution capability	разрешение
resolution cell	элемент разрешения
resolution chart	таблица разрешения
resolution element	элемент, определяющий разрешающую способность
resolution lasing	разрешающая способность
resolution of fault location	глубина поиска дефекта
submicrometer resolution	субмикронная разрешающая способность
track resolution	минимальная ширина токопроводящей дорожки
track resolution	разрешающая способность, определяемая шириной токопроводящей дорожки
ultrafine resolution	сверхвысокая разрешающая способность