Terms for subject Microelectronics containing Reactors

English	German
barrel reactor	zylinderförmige Reaktionskammer
barrel reactor	Trommelreaktor
CVD reactor	CVD-Anlage
cylinder reactor	zylinderförmige Reaktionskammer
cylindrical reactor	zylinderförmige Reaktionskammer
heating mechanism of the reactor	Heizmechanismus des Reaktors
heating mechanism of the reactor	Aufheizmechanismus des Reaktors
horizontal reactor	Horizontalreaktor (Epitaxiereaktor: Quarzrohr mit Induktionsheizung)
pancake reactor	kalottenförmige Reaktionskammer
parallel plate reactor	Planarplasmaätzanlage
parallel-plate plasma-etch reactor	Planarplasmaätzanlage
planar plasma reactor	Planarplasmaätzanlage
planar plasma-etch reactor	Planarplasmaätzanlage
plasma etch reactor	Plasmaätzanlage (system)
plasma reactor	Plasmaätzanlage
quartz reactor vessel	Quarzrohrreaktionskammer
reactor geometry	Form der Reaktionskammer
reactor pressure	in der Reaktionskammer
reactor pressure	Druck der Reaktionskammer
reactor vessel	Reaktionskammer
reactor wall deposit	Niederschlag an der Reaktionskammerwand
tunnel plasma-etch reactor	Trommelplasmaätzanlage
vertical pancake epitaxy reactor	glockenförmige Reaktionskammer für Epitaxialtechnik
vertical pancake epitaxy reactor	kalottenförmige Reaktionskammer für Epitaxialtechnik
vertical reactor	Vertikalreaktor (Epitaxiereaktor)