Terms for subject Microelectronics containing Reactors

English	Russian
batch-loaded reactor	реактор для групповой обработки
chemical vapor deposition reactor	реактор для химического осаждения плёнок
cylindrical plasma etching reactor	цилиндрический плазменный реактор
cylindrical plasma etching reactor	барабанный плазменный реактор
cylindrical plasma reactor	цилиндрический плазменный реактор
cylindrical plasma reactor	барабанный плазменный реактор
epi reactor	эпитаксиальный реактор
epitaxial reactor	эпитаксиальный реактор
high-pressure reactor	реактор высокого давления
hot-well reactor	реактор с горячими стенками
laboratory-scale reactor	лабораторный реактор
LPCVD reactor	реактор для химического осаждения из паровой фазы
mo-cvd reactor	реактор для химического осаждения из паровой фазы
multifacet reactor	реактор с многогранным барабаном
multiwafer plasma reactor	плазменный реактор для групповой обработки полупроводниковых пластин
nitride-oxide reactor	реактор для формирования нитридных и оксидных плёнок
nitrox reactor	реактор для формирования нитридных и оксидных плёнок
pancake reactor	планарный реактор для плазменного травления
parallel-plate reactor	реактор с параллельными электродными пластинами
parallel-plate reactor	реактор с параллельными пластинами
parallel-plate reactor	диодный реактор
planar-plasma etching reactor	планарный реактор для плазменного травления
planar-plasma reactor	планарный реактор для плазменного травления
plasma etching reactor	плазменный реактор травления
plasma reactor	реактор для плазменного травления
plasma reactor	плазменный реактор травления
radial-flow plasma etching reactor	плазменный реактор травления с радиальным потоком реактивных
reactor configuration	схема реактора
reactor spectrum	спектр нейтронов реактора
sputter reactor	установка для распыления
sputtering reactor	установка для распыления
variable reactor	параметрический диод
variable reactor	варактор