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analogue signal-processing system	Analogsignalverarbeitungssystem
batch processing system	Stapelverarbeitungsanlage
cassette-to-cassette in-line wafer processing system	durchgehendes Waferbearbeitungssystem mit Kassettenbetrieb
data acquisition and processing system	Datenerfassungs- und -verarbeitungsanlage
data logging and processing system	Datenerfassungs- und -Verarbeitungssystem
distributed processing system	verteiltes Verarbeitungssystem
interruption of processing by a system failure	Unterbrechung der Verarbeitung durch Anlagenausfall
job processing monitor system	Ablaufüberwachungssystem
parallel processing system	Parallelverarbeitungssystem