Terms for subject Microelectronics containing Patterning

English	German
device patterning	Strukturierung des Bauelements
direct wafer patterning with an electron beam	direkte Waferstrukturierung mit einem Elektronenstrahl
electron beam patterning at final size	Elektronenstrahlstrukturierung in endgültiger Größe
electron-beam exposure for patterning	Elektronenstrahlbelichtung zur Strukturierung
electron-beam patterning	Elektronenstrahlstrukturierung
fine line patterning	Mikrostrukturierung
microlithographic patterning on both sides of the wafers	mikrolithografische Strukturierung auf beiden Seiten der Wafer
patterning beam	strukturerzeugender Strahl
patterning exposure	Strukturierungsbelichtung
patterning in the submicron range	Strukturierung im Submikrometerbereich
patterning precision	Strukturierungsgenauigkeit
patterning regime	Strukturierungsverfahren
patterning step	Strukturierungsschritt
patterning technique	Strukturierungsverfahren
patterning time	Strukturierungszeit
resist patterning	Resiststrukturierung
resistless patterning possibility	Strukturierungsmöglichkeit ohne Verwendung von Resists
selective doping by patterning	selektive Dotierung durch Strukturierung
submicron patterning	Strukturierung im Submikrometerbereich
substrate for high-resolution patterning	Träger für hochaufgelöste Maskenstrukturierung
wafer patterning	Waferstrukturierung
wafer patterning system	Waferstrukturierungsanlage