Terms for subject Microelectronics containing Patterning

English	Russian
chip patterning	формирование рисунка на кристалле ИС
chip patterning	формирование рельефа на кристалле ИС
dry patterning	сухое микроструктурирование
fine-line patterning	формирование рисунка с высоким разрешением
fine-line patterning	формирование рисунка с элементами уменьшенных размеров
fine-line patterning	микроструктурирование с высоким разрешением
lift-off patterning	формирование рисунка методом обратной фотолитографии
metal patterning	микроструктурирование металлического слоя
microlithographic patterning	формирование рисунка методом литографии
nanometer patterning	формирование рисунка с элементами нанометрового размера
patterning process	формирование рисунка
patterning process	формирование рельефа
p-doped patterning	легированный акцепторной примесью
photo-patterning	фотолитография (acvila)
resist patterning	формирование рисунка в слое фоторезистора
resist patterning	формирование рельефа в слое фоторезистора
resistless patterning	формирование рисунка без использования фоторезистора
submicron patterning	формирование рисунка с элементами субмикронного размера
x-ray patterning	формирование рисунка методом рентгеновской литографии