Terms for subject Microelectronics containing Modular

English	Russian
microelectronic modular assembly	микромодуль
modular approach	модульный подход
modular language	язык модульного типа
modular station	модульная технологическая установка
modular system	модульная конструкция
modular track wafer scrubber	установка отмывки и очистки полупроводниковых пластин