Terms for subject Microelectronics containing As with ...

English	German
align a pattern with underlying ones	eine Struktur zu darunterliegenden justieren
bondable with a positive resist	bindungsfähig mit einem Positivresist
chamber with a stable temperature	Kammer mit konstanter Temperatur
coat with a one-micron film of photoresist	mit einem 1 μm dicken Resistfilm beschichten
define patterns with geometries as small as 0.2 micrometre	Strukturen mit Elementbreiten bis zu 0,2 μm scharf abbilden
direct writing of the device pattern with a scanning electron beam	Direktschreiben der Bauelementstruktur mit einem Rasterelektronenstrahl
etch a wafer with a groove	einen Graben in einen Wafer ätzen
glass substrate coated with a high-resolution emulsion	Glassubstrat mit einer hochauflösenden Emulsionsschicht
image onto a wafer with photons	mit Photonen auf einen Wafer abbilden
image with a demagnification of 10:1 onto a wafer	mit einer Verkleinerung von 10:1 auf den Wafer abbilden
interaction of a focussed electron beam with a polymer film	Wechselwirkung eines fokussierten Elektronenstrahls mit einer Polymerschicht
interface with a digital computer	mit einem Digitalrechner koppeln
interface with a digital computer	an einen Digitalrechner anschließen
interface with a microprocessor	sich an einen Mikroprozessor anschließen lassen
operate at high speed and with repeatability in a real plant environment	sehr schnell und reproduzierbar unter echten Produktionsbedingungen arbeiten
operate with a fixed clock	mit einem festen Takt arbeiten
outline the feature with a small spot and fill it with large blocks	die Umrisse des Strukturelements mit kleinem Punktstrahl schreiben und mit großen Blöcken ausfüllen
positioning of a mask with respect to a sample	Positionierung einer Maske in bezug auf eine Probe
primary pattern generation with a serial electron beam	Primärstrukturerzeugung mit einem seriellen Elektronenstrahl
produce arrays of images by photoreduction with a step-and-repeat camera	regelmäßige Bildfelder durch Verkleinerung mit einem Fotorepeater herstellen
project IC patterns with a 5:1 reduction ratio onto a wafer	Schaltkreisstrukturen mit 5facher Verkleinerung auf einen Wafer projizieren
pull the wafer on to a flat substrate with a vacuum den	Wafer durch Vakuum auf eine plane Unterlage ansaugen
resistive state with a voltage drop	ohmscher Zustand mit Spannungsabfall
run with a small voltage	mit kleiner Spannung betrieben werden
scan every element in the pattern with a finely focussed spot beam	jedes Strukturelement mit einem feinfokussierten Strahl abrastern
start the A-D conversion with one instruction	die A-D-Umsetzung mit einem Befehl beginnen
substrate coated with a photoresist	fotoresistbeschichtetes Substrat
terminate with a gold conductor	mit einem Goldleiter abschließen
test problem with a known solution	Prüfaufgabe mit bekannter Lösung
use the exposure process in a step and peat mode with individual alignment of each chip area	eine schrittweise Belichtung mit Einzeljustierung jeder Chipfläche durchführen