Terms for subject Technology containing reactive etching

English	Russian
deep reactive ion etching	глубокое реактивное ионное травление
Deep Reactive Ion Etching	глубинное реактивное ионное травление (wolferine)
reactive etching	реактивное травление
reactive etching	реактавное травление
reactive ion-beam etching	реактивное ионно-лучевое травление
reactive sputter etching	реактивное травление распылением