Terms for subject Electronics containing step coverage

English	Russian
aluminum step coverage	алюминиевое покрытие на оксидной ступеньке
step coverage	ступенчатое нанесение плёнок (каждый последующий слой по площади меньше предыдущего; поперечное сечение готовой структуры имеет ступенчатую форму)