Terms containing Tischposition

Subject	German	English
microel.	die genaue Tischposition mit einer Toleranz von 1/8 bis 1/48 Wellenlänge eines Helium-Neon-Lasers bestimmen	determine exact stage position to tolerances ranging from 1/8 to 1/48 wavelength of a HeNe laser
microel.	die Tischposition laserinterferometrisch überwachen	monitor stage position by a laser interferometer (kontrollieren)
microel.	Fehler der Tischposition kompensieren	compensate for errors in stage position