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Teststruktur
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Subject
German
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microel.
bis zu zehn unbelichtete rechteckige Flächen innerhalb der Matrix für
Teststrukturen
freilassen
leave up to ten unexposed rectangular areas within the array for non-primary patterns
microel.
Einfügung von
Teststrukturen
test-pattern insertion
microel.
Einfügung von
Teststrukturen
test-pattern drop-in
microel.
Einfügung von
Teststrukturen
insertion of test patterns
microel.
mikroelektronische
Teststrukturen
auf der Waferfläche vervielfältigen
replicate microelectronic test structures across the surface of a wafer
microel.
Ort der
Teststruktur
location of the test pattern
microel.
Teststruktur
zur Messung der Defektdichte
defect measurement test pattern
microel.
Teststrukturen
einsetzen
insert test patterns
microel.
Teststrukturen
in das Anordnungsfeld einfügen
substitute test patterns into the array
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