Terms containing Submikrometerbereich

Subject	German	English
microel.	Strukturen bis weit in den Submikrometerbereich reproduzieren	replicate patterns well into the submicron level
microel.	VLSI-Schaltkreise mit Strukturabmessungen im Mikrometer- oder Submikrometerbereich herstellen	fabricate VLSI circuits with 1 micron geometries or smaller