| Subject | German | English |
| microel. | Blende der Projektionsoptik | f-number of the projection optics (optische Projektionslithografie) |
| microel. | Blendenzahl der Projektionsoptik | f-number of the projection optics (optische Projektionslithografie) |
| microel. | die Projektionsoptik von alien Schwingungsquellen trennen | isolate the projection optics from all sources of vibration |