Terms containing Elementbreite

Subject	German	English
microel.	belichtbare Elementbreite	printable feature size
microel.	Einhaltung der Elementbreite bis auf ± 0,1 μm	feature contral to ± 0.1 μm
microel.	kleinste Elementbreite der Struktur	minimum pattern line width
microel.	kleinste erreichbare Elementbreite	smallest achievable line width (Strukturbreite)
microel.	minimale Elementbreite	minimum feature size
microel.	Strukturen mit Elementbreiten bis zu 0,2 μm scharf abbilden	define patterns with geometries as small as 0.2 micrometre