Terms containing Chipstruktur

Subject	German	English
microel.	den Strahl sequentiell zu den zu belichtenden Elementen der Chipstruktur führen	direct the beam sequentially to the elements of the chip pattern to be exposed
microel.	die Chipstruktur in Unterfelder teilen	divide the chip pattern into subfields
microel.	die ganze Chipstruktur auf einmal belichten	expose the full chip pattern at once
microel.	die gesamte Chipstruktur bei stationärem Tisch erzeugen	construct the entire chip pattern with the stage stationary
microel.	gesamte Chipstruktur	entire chip pattern
microel.	Maß der Lagegenauigkeit einer Chipstruktur	die fit (in bezug auf Verschwenkung, Parallelverschiebung oder Verzerrung)
microel.	Unterschiede zwischen benachbarten Chipstrukturen nach Größe und Lage registrieren	record differences between adjacent chip patterns by size and location