| Subject | German | English |
| microel. | Absorberstruktur auf einer ebenen Membranfolie | absorber pattern supported on a flat membrane (Röntgenlithografie) |
| microel. | die Absorberstruktur duplizieren | reproduce the absorber pattern (wiedergeben, reproduzieren) |
| microel. | Seitenverhältnis der Absorberstruktur | absorber pattern aspect ratio |