| Subject | English | French |
| gen. | chalk for lithography | craie pour la lithographie |
| tech., industr., construct. | color lithography | chromolithographie |
| tech., industr., construct. | colour lithography | chromolithographie |
| industr. | direct lithography | impression lithographique |
| IT | direct-beam lithography | lithographie à rayon direct |
| comp. | electron beam direct-stepping-on-wafer lithography | lithographie au rayon électronique avec transfert de layout direct sur tranche de semi-conducteur |
| phys.sc., el. | electron beam lithography | microlithographie par masquage électronique |
| phys.sc., el. | electron beam lithography | masquage électronique |
| phys.sc., el. | electron beam lithography | lithographie électronique |
| IT | EUV lithography | lithographie EUV |
| IT, industr. | extreme ultraviolet lithography | lithographie EUV |
| IT | extreme-ultra-violet lithography | lithographie EUV |
| commun. | facsimile by lithography | autographie |
| industr., construct., met. | glass for lithography | verre pour lithographie |
| industr., construct., met. | glass for lithography | verre pour hyalographie |
| tech. | imprint lithography | lithographie par nano-impression |
| IT | laser lithography | lithographie laser |
| IT | laser-sharp lithography | lithographie à la pointe du laser |
| IT | lithography mask | masque de lithographie |
| commun. | offset lithography | impression rotocalcographique |
| commun. | offset lithography | offset |
| commun. | offset lithography | impression offset |
| gen. | optical lithography | lithographie optique |
| el. | photo-lithography | photolithographie |
| industr. | screenless lithography | offset sans trame |
| IT | stored programme controlled lithography | lithographie à commande par programme enregistré |
| tech. | X-ray lithography | lithographie par rayons X |