Terms containing sputtering

Subject	English	Ukrainian
microel.	bias sputtering	розпилювання під кутом
microel.	bulk sputtering	іонне напилення суцільної тонкої плівки
met.	cathode sputtering	катодне розпилювання
chem.	cathodic sputtering	катодне розпилення
microel.	dc sputtering	розпилювання на постійному струмі
microel.	diode sputtering	діодне розпилювання
microel.	diode sputtering	іонне розпилювання в двохелектродній вакуумній установці
microel.	high-rate sputtering	високопродуктивне розпилювання
microel.	ion-beam sputtering	іонне іонно-променеве розпилювання
microel.	ion-beam sputtering system	устаткування іонно-променевого розпилювання
microel.	laser sputtering	лазерне розпилювання
microel.	magnetron sputtering	магнетронне розпилювання
microel.	physical sputtering	фізичне розпилювання
microel.	plasma sputtering	плазмове розпилювання
microel.	radio-frequency cathode sputtering	високочастотне катодне розпилювання
microel.	reactive sputtering	реактивне іонне розпилювання
microel.	RF sputtering	високочастотне іонне розпилювання
microel.	secondary sputtering	розпилювання вторинними іонами
gen.	sputter out	заглухнути (про мотор тощо)
microel.	sputtering chamber	камера для розпилювання
met.	sputtering metallization	металізація розпиленням
microel.	sputtering reactor	устаткування для розпилювання
microel.	sputtering source	джерело для розпилювання
microel.	sputtering target	мішень устаткування для розпилювання
microel.	sputtering tool	вакуумне устаткування для розпилювання
microel.	thin-film sputtering	іонне напилення тонкої плівки
microel.	triode sputtering	тріодне розпилювання
microel.	triode sputtering	іонне розпилювання в трьохелектродній вакуумній установці