Terms containing plasma etching

Subject	English	Ukrainian
microel.	gas-phase plasma-assisted etching	газофазне плазмостимульоване травлення
microel.	ion-assisted plasma etching	травлення в плазмі, що супроводжуєтсья іонним бомбардуванням (1–100 мТор)
microel.	oxygen gas plasma etching	травлення в плазмі кисню
microel.	planar plasma etch	плазмове травлення в планарному реакторі
microel.	plasma etch chemistry	плазмохімічне травлення
microel.	plasma etch cleaning	очищення плазмовим травлення
microel.	plasma etch process	плазмове травлення
microel.	plasma reactor etching	плазмове травлення
microel.	plasma-etch machine	устаткування плазмового травлення
microel.	plasma-etching chamber	камера для плазмового травлення
microel.	radial-flow plasma etching reactor	плазмовий реактор травлення з радіальним потоком реактивних газів
microel.	radio-frequency plasma etching	високочастотне плазмове травлення