| Subject | English | Ukrainian |
| microel. | chemo mechanical planarization | технологія обробки, яка дозволяє одночасне отримання чистої поверхні, контроль площинності і зменшення товщини |
| microel. | planarization ring | кільце, що забезпечує площинну (напр. для посадки кристала ІС) |