Subject	English	Ukrainian
microel.	oxygen gas plasma etching	травлення в плазмі кисню
microel.	oxygen plasma	киснева плазма
microel.	oxygen plasma beam	пучок кисню з плазми
microel.	oxygen plasma discharge source	джерело кисню з кисневої плазми
microel.	oxygen plasma discharge source	плазмове джерело кисню
microel.	oxygen-gas plasma stripping	видалення фоторезиста в кисневій плазмі
microel.	oxygen-plasma oxidation technique	метод оксидування в кисневій плазмі
microel.	plasma-excited oxygen	кисень, збуджений в плазмі