| Subject | English | Ukrainian |
| microel. | electron probe microanalysis | електронно-зондовий мікроаналіз (Метод, який використовує електронне або рентгенівське випромінювання для спостереження за твердою поверхнею і кількісного аналізу складових елементів.) |
| chem. | electron probe microanalysis | електронно-зондовий рентгеноспектральний мікроаналіз |
| chem. | electron probe X-ray microanalysis | електроннозондовий мікроаналіз |
| microel. | optical microanalysis | оптичний мікроаналіз |
| microel. | scanning Auger microanalysis | скануючий оже-мікроаналіз |
| met. | X-ray microanalysis | мікрорентгеноспектральний аналіз |
| microel. | X-ray microanalysis | рентгенівський мікроаналіз |