Terms containing ion etching

Subject	English	Ukrainian
microel.	deep reactive ion etching	глибинне реактивне іонне травлення
microel.	high-frequency ion etching	високочастотне іонне травлення
microel.	hydrogen reactive ion etching	реактивне іонне травлення в середовищі водню
microel.	ion etching	іонне іонно-променеве травлення
microel.	ion etching station	устаткування іонного травлення
microel.	ion-assisted plasma etching	травлення в плазмі, що супроводжуєтсья іонним бомбардуванням (1–100 мТор)
microel.	ion-beam induced etching	іонно-стимульоване пучкове травлення
microel.	ion-beam induced etching	травлення під дією іонного пучка
microel.	reactive ion etching	реактивне іонне травлення