| Subject | English | Ukrainian |
| microel. | drive-in diffusion | розгін домішки (друга стадія двохстадійної дифузії) |
| microel. | drive-in diffusion step | розгін домішки (друга стадія двохстадійної дифузії) |
| microel. | in diffusion | дифузія всередину об'єму (підкладки) |
| microel. | in diffusion | пряма дифузія |
| microel. | in-diffusion | дифузія всередину об'єму (підкладки) |
| microel. | in-diffusion | пряма дифузія |