| Subject | English | Ukrainian |
| microel. | back-side gettering | гетерування забруднень плівкою на нижній поверхні напівпровідникової пластини |
| microel. | diffusion gettering | дифузійне гетерування (за рахунок напруг і порушень гратки, які внесені домішкою) |
| microel. | dopant gettering | гетерування домішки |
| microel. | enhanced gettered wafer | напівпровідникова пластина з посиленим гетеруванням |
| microel. | excimer laser gettering | гетерування випромінюванням ексимерного газу |
| microel. | extrinsic gettering | зовнішнє гетерування |
| microel. | intrinsic gettering | гетерування з внутрішнім гетером |
| microel. | intrinsic gettering | внутрішнє гетерування |
| microel. | ion implantation gettering | гетерування методом іонного легування (для створення мікродефектів на нижній поверхні напівпровідникової пластини) |
| microel. | phosphorous gettering | гетерування дифузією фосфору (для створення дислокацій на нижній поверхні пластини) |
| microel. | preoxidation gettering | гетерування напівпровідникових пластин перед оксидуванням |