Subject	English	Ukrainian
microel.	flatness checker	прилад для контролю площинності (напр. напівпровідникових пластин)
microel.	flatness gage	вимірювач площинності
mil.	flatness of trajectory	настильність траєкторії
microel.	flatness tester	вимірювач площинності
microel.	high-flatness mask	шаблон з високою площинною
metrol.	lack of flatness	непласкісність
microel.	wafer flatness	площинна напівпровідникової пластини