Terms containing excimer

Subject	English	Ukrainian
microel.	DUV excimer laser	ексимерний лазер в глибокому ультрафіолеті
microel.	excimer beam	промінь ексимерного лазера
microel.	excimer-induced deposition	осадження, що стимулюється випромінюванням ексимерного лазера
microel.	excimer laser etching	травлення з використанням ексимерного лазера (і пари хлору)
microel.	excimer laser gettering	гетерування випромінюванням ексимерного газу
microel.	excimer laser lithography	ексимерна лазерна літографія
microel.	excimer laser lithography	літографія з ексимерним лазером як джерело
microel.	excimer laser micromachining	мікрообробка ексимерним лазером (Метод видалення матеріалу за допомогою ексимерного лазера)
microel.	excimer-laser mixed contact	контакт, сформований переміщенням за допомогою випромінювання ексимерного лазера
microel.	excimer laser processing	технологія із застосуванням ексимерного лазера
microel.	excimer-laser-induced CVD	хімічне осадження з парової фази, що стимулюється випромінюванням ексимерного лазера
chem.	excimer-luminescence	ексимерна люмінесценція