| Subject | English | Ukrainian |
| microel. | acid etch | кислотний травник |
| microel. | acid etch | травлення кислотою |
| microel. | anisotropic etch | анізотропний травник |
| microel. | anisotropic etch | анізотропне травлення |
| microel. | anisotropic etch property | властивість анізотропного травника |
| microel. | anisotropic etching | анізотропне травлення (Обробка травником матеріалу, при якій травлення в різних напрямах відбувається з різною швидкістю) |
| microel. | anode etching | електрохімічне травлення |
| met. | anodic etching | анодне травлення |
| microel. | axial etch axial rate nonuniformity | нерівномірність швидкості травлення в осьовому напрямі |
| microel. | axid etching | травлення кислотою |
| microel. | bake-etch-strip line | технологічна лінія термообробки, травлення і зняття фоторезиста (з напівпровідникової пластини) |
| microel. | batch etching | групове травлення |
| microel. | bi-etching system | устаткування подвійного травлення |
| microel. | blanket etching | суцільне травлення |
| microel. | blanket etching | травлення всієї поверхні |
| microel. | boron etch stop technique | технологія зупинки травлення бором |
| microel. | buffered etch | буферний травник |
| microel. | buffered etching solution | буферний травник |
| microel. | buffered oxide etch | травлення буферного оксиду |
| microel. | caustic etch | лужний травник |
| microel. | caustic etch | травлення лугом |
| microel. | chemical etch | хімічний травник |
| microel. | chemical etch | хімічне травлення |
| microel. | chemical etch polishing | хімічне полірування травленням |
| met. | chemical etching | хімічне травлення |
| microel. | chemically assisted etching | хімічно-стимульоване травлення |
| met. | colour etching | кольорове травлення |
| microel. | concentration dependent etching | травлення, залежне від концентрації |
| microel. | crystallographically sensitive etching | анізотропне травлення |
| microel. | crystal-orientation dependent etch | анізотропне травлення |
| microel. | crystal-orientation dependent etch | анізотропний травник |
| microel. | deep-etch hole | отвір, сформований глибоким травленням |
| met. | deep etching | глибоке травлення |
| microel. | deep reactive ion etching | глибинне реактивне іонне травлення |
| microel. | differential etching | травлення з різною швидкістю |
| microel. | differential etching | диференціальне травлення |
| microel. | digital etching | травлення дискретними порціями (атомний шар за шаром) |
| microel. | diode ion etching | іонне травлення в двохелектродній системі |
| microel. | dip etching | травлення методом занурення |
| microel. | directional etch method | метод направленого травлення |
| microel. | directional etching | направлене травлення |
| microel. | dislocation etching | травлення для виявлення дислокацій |
| microel. | dry chemical etching technology | технологія сухого травлення |
| microel. | dry process etching | сухе травлення (Процес травлення в газовій фазі, за допомогою фізичної і/або хімічної реакції реактивного газу або плазми) |
| met. | electrochemical etching | електрохімічне травлення |
| astronaut. | electrolytic etching treatment | електролітичне травлення |
| microel. | electron-beam induced etching | травлення, що стимулюється електронним променем |
| microel. | etch-and-refill technique | метод вибіркового травлення і заповнення канавок |
| microel. | etch bath | травильна ванна |
| microel. | etch factor | коефіцієнь травлення (відношення глибини травлення до ширини) |
| microel. | etch melt | травильний розплав |
| construct. | etch pattern | витравлений малюнок (друкованої плати) |
| microel. | etch polishing | хімічне полірування травленням |
| microel. | etch-separated wafer | напівпровідникова пластина, що розділяється на кристали методом травлення |
| microel. | etch-stop technique | метод зупинки травлення |
| microel. | etch tank | травильна ванна |
| tech. | etching acid | травильна кислота |
| microel. | etching anisotropy | анізотропія травлення |
| microel. | etching bias | клин травлення |
| microel. | etching chemical | травник |
| microel. | etching durability | стійкість до травника |
| microel. | etching gas mixture | суміш для газового травлення |
| microel. | etching mask | маска травлення |
| microel. | etching material | травник |
| gen. | etching-needle | офортна голка |
| gen. | etching needle | пунктирувальна голка |
| gen. | etching needle | гравірувальна голка |
| gen. | etching-needle | гравірувальна голка |
| industr. | etching paste | травильна паста |
| met. | etching pattern | фігури травлення |
| microel. | etching pattern layout | конфігурація фігури травлення |
| microel. | etching ratio | відношення швидкостей травлення |
| microel. | etching reactor | реактор травлення |
| environ. | etching substance | речовина травника (Речовина, здатна роз'їсти поверхню металу, скла і т.д. при хімічній реакції) |
| microel. | etching system | устаткування травлення |
| microel. | etching treatment | обробка травленням |
| microel. | excessive etching | перетравлення |
| microel. | excimer laser etching | травлення з використанням ексимерного лазера (і пари хлору) |
| microel. | gas etch | газоподібний травник |
| microel. | gaseous etch | газоподібний травник |
| microel. | gas-phase plasma-assisted etching | газофазне плазмостимульоване травлення |
| met. | grain boundary etching | травлення меж зерен |
| microel. | high-frequency ion etching | високочастотне іонне травлення |
| microel. | hydrogen reactive ion etching | реактивне іонне травлення в середовищі водню |
| microel. | ion etching | іонне іонно-променеве травлення |
| microel. | ion etching station | устаткування іонного травлення |
| microel. | ion-assisted plasma etching | травлення в плазмі, що супроводжуєтсья іонним бомбардуванням (1–100 мТор) |
| microel. | ion-beam induced etching | травлення під дією іонного пучка |
| microel. | ion-beam induced etching | іонно-стимульоване пучкове травлення |
| microel. | isotropic etch | ізотропне травлення |
| microel. | isotropic etch | ізотропний травник |
| microel. | isotropic etching | ізотропне травлення (Обробка матеріалу травником, при якій травлення відбувається у всіх напрямах з однаковими швидкостями.) |
| microel. | jet etching | струменеве травлення |
| microel. | laser radical etching | радикальне травлення з лазерним стимулюванням |
| microel. | laser-enhanced etching | лазерно-стимульоване травлення |
| microel. | laser-induced pattern projection etching | лазерно-стимульоване проекційне травлення |
| microel. | lateral etch component | горизонтальна складова травлення |
| microel. | lateral etching | травлення в горизонтальному бічному напрямі |
| microel. | lift-off etching | зворотна фотолітографія |
| microel. | light-induced etching | фотостимульоване травлення |
| microel. | low-pressure plasma etching | травлення в газовій плазмі низького тиску |
| microel. | masked etching | травлення через маску |
| microel. | maskless etching | травлення "прямим малюванням" |
| microel. | maskless etching | безмаскове травлення |
| microel. | maskless laser etching | безмаскове лазерно-стимульоване травлення |
| microel. | mesa etching | витравлення мезаструктур |
| microel. | metal etch resist | резист для літографії по металевих плівках |
| microel. | metallization etching mask | фотошаблон для формування сполучної металізації тим, що травлення |
| microel. | microwave plasma etching | травлення в НВЧ-плазмі |
| microel. | mild etching | слабке травлення |
| microel. | nonundercutting etching | травлення без підтравлення |
| microel. | orientation dependent etch | анізотропний травник |
| microel. | orientation dependent etch | анізотропне травлення |
| microel. | orientation-dependent etching | анізотропне травлення |
| microel. | oxide etch | травник для оксиду (напр. діоксиду кремнію) |
| microel. | oxide etch | травлення оксиду |
| microel. | oxygen gas plasma etching | травлення в плазмі кисню |
| microel. | permeation etching | проникаюче травлення (напр. через маску) |
| microel. | photochemical etching | фотохімічне травлення |
| microel. | photoelectrochemical etching | електрохімічне травлення з оптичним стимулюванням |
| microel. | photo-enhanced chemical dry etching | фотостимульоване хімічне сухе травлення |
| microel. | photoexcited etching | фотостимульоване травлення |
| microel. | photo-initiated etching | фотостимульоване травлення |
| microel. | photoresist-controlled etch | травлення з використанням фоторезистної маски |
| microel. | photoresist-masked etching | травлення з використанням фоторезистної маски |
| microel. | planar plasma etch | плазмове травлення в планарному реакторі |
| microel. | plasma etch chemistry | плазмохімічне травлення |
| microel. | plasma etch cleaning | очищення плазмовим травлення |
| microel. | plasma-etch machine | устаткування плазмового травлення |
| microel. | plasma etch process | плазмове травлення |
| microel. | plasma reactor etching | плазмове травлення |
| microel. | plasma-etching chamber | камера для плазмового травлення |
| microel. | post etching | післятравлення (небажаний ефект) |
| microel. | pre-etch hardbaker | пристрій для задубления фоторезиста перед травленням |
| astronaut. | precision contour etching | точне фасонне травлення |
| microel. | preferential etching | направлене травлення |
| microel. | preferential etching | селективне вибіркове травлення |
| microel. | profile etch feature | профіль травлення елементу |
| microel. | radial etch nonuniformity | нерівномірність швидкості травлення в радіальному напрямі |
| microel. | radial-flow plasma etching reactor | плазмовий реактор травлення з радіальним потоком реактивних газів |
| microel. | radical plasma etching | радикальне плазмохімічне травлення |
| microel. | radio-frequency plasma etching | високочастотне плазмове травлення |
| microel. | reactive ion etching | реактивне іонне травлення |
| microel. | regenerative etching | травлення з регенерацією травника |
| microel. | resistless etching | травлення без фоторезистної маски (напр. за допомогою ексимерних лазерів) |
| microel. | resistless etching technology | технологія літографії без застосування резистів (напр. з використанням ексимерного лазера) |
| microel. | selective etching | селективне вибіркове травлення |
| microel. | sharp etching | травлення, що забезпечує отримання рівних гострих країв (напр. вікон в масці) |
| microel. | sideways etching | травлення в горизонтальному бічному напрямі |
| microel. | silicon etch solution | рідкий травник для кремнію |
| microel. | single-step laser etching | одностадійне лазерне травлення |
| microel. | spray etching | струменеве травлення |
| microel. | sputter etching | травлення розпилюванням |
| microel. | steady-state etching | травлення з постійною швидкістю |
| microel. | step etch | витравлення сходинок |
| microel. | stop-etch material | матеріал, який перешкоджає травленню |
| microel. | stress relief etch | травлення для зняття поверхневих напруг |
| microel. | synchrotron radiation-assisted etching | травлення, стимульоване синхротронним випромінюванням |
| microel. | taper etching | травлення конусних профілів |
| microel. | tetrode ion etching | іонне травлення в чотириелектродній системі |
| microel. | to etch away | підбурювати |
| microel. | to etch into | витравляти |
| microel. | to etch out | витравляти |
| microel. | trench etch | витравлення канавок |
| microel. | trench-etch technique | метод витравлення ізолюючих канавок |
| microel. | triode ion etching | іонне травлення в трьохелектродній системі |
| microel. | undercut etching | підтравлення (напр. кремнію під маскуючим шаром) |
| microel. | undercutting etching | підтравлення (напр. кремнію під маскуючим шаром) |
| microel. | UV laser etching | лазерно-стимульоване травлення в УФ-діапазоні |
| met. | vacuum etching | вакуумне травлення |
| microel. | vacuum ultraviolet-assisted etching | травлення, стимульоване випромінюванням в області вакуумного ультрафіолету |
| microel. | vertical etching | анізотропне травлення |
| microel. | V-groove etch | травник для травлення V-подібної канавки |
| microel. | V-groove etch | витравлення V-подібної канавки |
| microel. | VUV-assisted etching | травлення, стимульоване випромінюванням в області вакуумного ультрафіолету |
| microel. | wet etch | рідкий травник |
| microel. | wet etch processor | устаткування для рідинного травлення |
| microel. | wet chemical etching | рідинне травлення |
| microel. | zero-undercut etching | травлення без підтравлення |