| Subject | English | Ukrainian |
| microel. | direct-write electron-beam lithography | електронно-променева літографія з безпосереднім формуванням малюнка |
| microel. | electron-beam lithography | електронолітографія (Альтернатива рентгенівській літографії; використовує електрони, забезпечує високу роздільну здатність і не вимагає фотошаблону.) |
| microel. | electron-beam lithography | електроннопроменева електронна літографія |
| microel. | electron-beam lithography | електронно-променева літографія (Yuriy Sokha) |
| microel. | raster-scan electron-beam lithography | електронно-променева літографія з растровим скануванням |
| microel. | scanning electron-beam lithography | скануюча електронно-променева літографія |
| microel. | vector-scan electron-beam lithography | електронно-променева літографія з векторним скануванням |