| microel. | scanning electron microscopy | растровий електронний мікроскоп (Мікроскоп, який сканує зразок електронним променем, вимірює інтенсивність квантів, які випускаються зразком, таких як вторинні електрони, відбиті електрони тощо для перетворення в електричний сигнал) |