Terms containing electron lithography

Subject	English	Ukrainian
microel.	direct-write electron-beam lithography	електронно-променева літографія з безпосереднім формуванням малюнка
microel.	electron lithography	електронолітографія (Альтернатива рентгенівській літографії; використовує електрони, забезпечує високу роздільну здатність і не вимагає фотошаблону.)
microel.	electron lithography	електроннопроменева електронна літографія
microel.	electron-beam lithography	електронолітографія (Альтернатива рентгенівській літографії; використовує електрони, забезпечує високу роздільну здатність і не вимагає фотошаблону.)
microel.	electron-beam lithography	електроннопроменева електронна літографія
microel.	electron-beam lithography	електронно-променева літографія (Yuriy Sokha)
microel.	raster-scan electron-beam lithography	електронно-променева літографія з растровим скануванням
microel.	scanning electron-beam lithography	скануюча електронно-променева літографія
microel.	vector-scan electron-beam lithography	електронно-променева літографія з векторним скануванням