| Subject | English | Ukrainian |
| microel. | dry chemical etching technology | технологія сухого травлення |
| microel. | dry process etching | сухе травлення (Процес травлення в газовій фазі, за допомогою фізичної і/або хімічної реакції реактивного газу або плазми) |
| microel. | photo-enhanced chemical dry etching | фотостимульоване хімічне сухе травлення |