Subject	English	Ukrainian
microel.	diffusion from an infinite source	дифузія з нескінченного необмеженого джерела
microel.	diffusion from а planar source	дифузія з обмеженого джерела
microel.	diffusion source	джерело дифузанта
microel.	diffusion-source layer	шар дифузанта
microel.	drain and source diffusion	дифузія для формування стоку і витоку (польового транзистора)
microel.	gas-source diffusion	дифузія з газової фази
microel.	self-aligned source-drain diffusion technology	технологія МОН ІС з самосуміщеними дифузійними областями стоку і витоку