Subject	English	Ukrainian
microel.	low-pressure triode method	тріодний метод іонного розпилювання при низькому тиску
microel.	triode etcher	трьохелектродне устаткування для іонного травлення
microel.	triode ion etching	іонне травлення в трьохелектродній системі
tech.	triode laser	триодний лазер
microel.	triode sputter	трьохелектродне вакуумне устаткування іонного розпилювання
microel.	triode sputtering	тріодне розпилювання
microel.	triode sputtering	іонне розпилювання в трьохелектродній вакуумній установці