| Subject | English | Ukrainian |
| microel. | bard-contact lithography | літографія з щільним контактом |
| microel. | beamwriter lithography | скануюча електронно-променева літографія |
| microel. | beamwriter lithography | літографія скануванням променя |
| microel. | charged-particle lithography | літографія з використанням пучків заряджених частинок (напр. електронна, іонна) |
| microel. | contact lithography | контактна літографія |
| microel. | contactless lithography | безконтактна літографія |
| microel. | contrast-enhanced lithography | літографія з поліпшеним контрастом |
| microel. | deep-UV lithography | літографія в глибокому ультрафіолеті |
| microel. | deep-UV lithography | фотолітографія з використанням дальнього ультрафіолетового УФ-випромінювання |
| microel. | direct growth lithography | літографія прямим малюванням шляхом локального стимульованого росту деякою шару |
| microel. | direct-write electron-beam lithography | електронно-променева літографія з безпосереднім формуванням малюнка |
| microel. | dot lithography | літографія формування точок |
| microel. | dot lithography | точкова літографія |
| microel. | dual-surface lithography | двостороння літографія (для формування малюнка на обох сторонах напівпровідникової пластини) |
| microel. | electron lithography | електронолітографія (Альтернатива рентгенівській літографії; використовує електрони, забезпечує високу роздільну здатність і не вимагає фотошаблону.) |
| microel. | electron lithography | електроннопроменева електронна літографія |
| microel. | electron-beam lithography | електронолітографія (Альтернатива рентгенівській літографії; використовує електрони, забезпечує високу роздільну здатність і не вимагає фотошаблону.) |
| microel. | electron-beam lithography | електроннопроменева електронна літографія |
| microel. | electron-beam lithography | електронно-променева літографія (Yuriy Sokha) |
| microel. | excimer laser lithography | ексимерна лазерна літографія |
| microel. | excimer laser lithography | літографія з ексимерним лазером як джерело |
| microel. | fine-line lithography | прецизійна літографія |
| microel. | focused ion-beam lithography | літографія з фокусованим іонним променем |
| microel. | full-wafer lithography | літографія по всьому полю пластини |
| microel. | high-resolution lithography | оптична літографія з високим дозволом |
| microel. | high-voltage EB lithography | високовольтна електронно-променева літографія |
| microel. | holographic lithography | лазерна літографія |
| microel. | hybrid lithography | гібридна комбінована літографія (напр. оптична і електронно-променева літографія) |
| microel. | i-line lithography | фотолітографія на довжині хвилі 365 нм |
| microel. | i-line lithography | фотолітографія з експонуванням випромінюванням з довжиною хвилі 365 нм |
| microel. | ion-beam lithography | іонна іонно-променева літографія |
| microel. | ion-beam lithography setup | устаткування іонно-променевої літографії |
| microel. | laser lithography | лазерна літографія |
| microel. | laser-based lithography | лазерна літографія |
| microel. | lift-off lithography | зворотна літографія |
| microel. | lithography system | устаткування фотолітографії |
| microel. | lithography system | устаткування літографії |
| microel. | lithography tool | літографічне устаткування |
| microel. | lithography unit | установка літографії |
| microel. | mask lithography | фотолітографія для виготовлення фотошаблонів |
| microel. | maskless lithography | безмаскова безрезистова літографія (прямим малюванням пучками електронів) |
| microel. | micrometer micron lithography | літографія для формування елементів мікронних розмірів |
| microel. | micron lithography | літографія для формування елементів мікронних розмірів |
| microel. | molecular-level lithography | літографія для молекулярної електроніки (напр. біочипів) |
| microel. | optical lithography | оптична літографія |
| microel. | optical lithography | фотолітографія |
| microel. | positive-resist projection lithography | проекційна літографія із застосуванням позитивних резистів |
| microel. | precise registration lithography | літографія з прецизійним суміщенням |
| microel. | projection lithography | проекційна літографія |
| microel. | proximity lithography | літографія з мікрощілиною |
| microel. | proximity lithography | літографія з щілиною |
| microel. | raster-scan electron-beam lithography | електронно-променева літографія з растровим скануванням |
| microel. | resistless lithography | безрезистна безмаскова літографія (прямим малюванням пучками електронів) |
| microel. | scaled-down lithography | літографія для формування масштабованих інтегральних схем |
| microel. | scanning electron-beam lithography | скануюча електронно-променева літографія |
| microel. | scanning ion-beam lithography | скануюча іонна літографія |
| microel. | self-aligned dual-surface lithography | двостороння літографія з самосуміщенням фотошаблонів |
| microel. | soft lithography | легка літографія (Поняття, яке найбчастіше використовуєтсья для набору методів (наноконтактна літографія, наноштампування і т.д), які проста за ідеєю і ґрунтується на наноструктурованих формах або шаблонах. Вона може використовуватися для створення нанорівневих зображень за допомогою нанесення фарби і пресуванням її на поверхню або нанесенням заглиблень негативних частин форми (шаблона) на поверхню, плюс деякі інші варіації. Методи дуже прості в принципі і оскільки вони мають на увазі наявність друкарської машини, є можливість масового виробництва. Методи не вимагають спеціального устаткування і надчистих кімнат, як на заводах, що виготовляють кремнієві кристали.) |
| microel. | soft-contact lithography | літографія з м'яким контактом |
| microel. | step-and-repeat lithography | літографія з послідовним кроковим експонуванням |
| microel. | step-on-wafer lithography | літографія з послідовним кроковим експонуванням |
| microel. | stepper lithography | літографія з послідовним кроковим експонуванням |
| microel. | submicron lithography | літографія для формування елементів субмікронних розмірів |
| microel. | synchrotron lithography | рентгенівська літографія з використанням синхротронного випромінювання |
| microel. | synchrotron-radiation lithography | рентгенівська літографія з використанням синхротронного випромінювання |
| microel. | ultraviolet lithography | літографія з використанням ультрафіолетового УФ-випромінювання |
| microel. | vector-scan electron-beam lithography | електронно-променева літографія з векторним скануванням |
| microel. | wafer lithography | літографія по всьому полю пластини |
| microel. | wafer-stepper lithography | літографія з послідовним кроковим експонуванням |
| microel. | write e-beam lithography | скануюча електронно-променева літографія |
| microel. | X-ray lithography | рентгенівська літографія |