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SubjectEnglishGerman
microel.Gaussian beam vector scan systemnach dem Vektorscan-Verfahren arbeitende Punktstrahlbelichtungsanlage
microel.Gaussian beam vector scan systemPunktstrahlvektorscan-Anlage
microel.Gaussian vector scan instrumentnach dem Vektorscan-Verfahren arbeitende Punktstrahlbelichtungsanlage
microel.Gaussian vector scan instrumentPunktstrahlvektorscan-Anlage
microel.round beam vector scan machinePunktstrahlvektorscan-Gerät
microel.vector scan beam deflection principleVektorscan-Strahlablenksystem
microel.vector scan electron-beam machineVektorscan-Elektronenstrahlanlage
microel.vector scan methodVektorscan-Verfahren (der Elektronenstrahl wird innerhalb eines Ablenkfeldes so geführt, daß nur die zu belichtenden Strukturgebiete abgerastert und die nicht zu belichtenden Gebiete übersprungen werden)
microel.vector scan pattem generatorVektorscan-Bildgenerator
microel.vector scan systemVektorscan-Anlage
microel.vector scan writing methodVektorscan-Schreibverfahren
microel.vector scan writing schemeVektorscan-Schreibregime
gen.vector scanningVektorgrafik Vektorgraphik

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