| Subject | English | German |
| microel. | vector scan method | Vektorscan-Verfahren (der Elektronenstrahl wird innerhalb eines Ablenkfeldes so geführt, daß nur die zu belichtenden Strukturgebiete abgerastert und die nicht zu belichtenden Gebiete übersprungen werden) |
| microel. | vector scan writing method | Vektorscan-Schreibverfahren |