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top resist layer
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Subject
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German
microel.
expose the bottom resist layer through the top layer
die untere Resistschicht durch die obere Schicht belichten
microel.
intermediate layer between the top and bottom resists
Zwischenschicht zwischen dem oberen und unteren Resist
microel.
pattern transfer from the top resist to the silicon nitride layer
Strukturübertragung von der oberen Resistschicht auf die Siliziumnitridschicht z
microel.
top resist layer
oberste Resistschicht
microel.
uniform coating of the
top resist layer
gleichmäßige Auftragung der oberen Resistschicht
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