| Subject | English | German |
| microel. | direct stepper aligner | Scheibenrepeater |
| microel. | direct wafer stepper projection aligner | Scheibenrepeater (system) |
| microel. | direct wafer stepper projection aligner | Projektionsscheibenrepeater (system) |
| microel. | stepper aligner | Scheibenrepeater (mit verkleinerter schrittweiser Projektionsübertragung) |
| microel. | wafer stepper projection aligner | Projektionsscheibenrepeater |