Subject	English	German
microel.	optical multiple image step-and-repeat reduction camera	Fotorepeater
microel.	optical multiple image step-and-repeat reduction camera	Fotorepeaterkamera
microel.	reduction lens of a step-and-repeat aligner	Verkleinerungsobjektiv eines Projektions- und Überdeckungsrepeaters
microel.	step and-repeat reduction projection system	Großfeldstepper
microel.	step and-repeat reduction projection system	Projektions- und Überdekkungsrepeater (für direkte Waferbelichtung)
microel.	step and-repeat reduction projection system	Scheibenrepeater
microel.	step and-repeat reduction projection system	Wafer-Stepper
microel.	step-and-repeat reduction	Verkleinerung mit Step-und-Repeat-Verfahren (zu einer Originalmaske)