Terms containing step-and-repeat exposure

Subject	English	German
microel.	first generation step-and-repeat exposure system	Fotorepeateranlage der ersten Generation (für Maskenherstellung)
microel.	step-and-repeat exposure	schrittweise Belichtung
microel.	step-and-repeat exposure directly on the wafer	direkte Waferbelichtung nach dem Step-und-Repeat-Verfahren
microel.	step-and-repeat exposure system	Belichtungsanlage mit Step-und-Repeat-Einrichtung
microel.	step-and-repeat exposure system	Fotorepeateranlage
microel.	wafer step-and-repeat exposure system	Projektions- und Überdeckungsrepeateranlage für Waferbelichtung