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step-and repeat
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Subject
English
German
microel.
die
step-and-repeat
distance
Einzelbildabstand im Step-und-Repeat-Feld
microel.
direct insertion into the
step-and-repeat
camera
Direkteingabe in den Fotorepeater
microel.
direct
step-and-repeat
system
Fotorepeater für direkte Waferbelichtung
microel.
direct
step-and-repeat
system
Scheibenrepeater
microel.
expose in a
step-and-repeat
fashion
im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
microel.
expose 5 mm x 5 mm fields in
step-and-repeat
raster-scan fashion
5 mm x 5 mm-Felder rasterförmig im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
microel.
first generation
step-and-repeat
exposure system
Fotorepeateranlage der ersten Generation
(für Maskenherstellung)
opt.
four-barrel
step and repeat
camera
Vierfachrepeater
(machine)
opt.
four-barrel
step and repeat
camera
vierfache Repeaterkamera
(machine)
microel.
imaging process of a
step-and-repeat
aligner
Abbildungsprozeß eines Scheibenrepeaters
microel.
ion-optical
step-and-repeat
system
ionenoptische Step-und-Repeat-Anlage
opt.
multibarrel
step and repeat
camera
mehrfache Repeaterkamera
(machine)
opt.
multibarrel
step and repeat
camera
Mehrfachrepeater
(machine)
microel.
multibarrel
step-and-repeat
system
Mehrfachrepeater
microel.
one-to-one
step and repeat
system
Step-und-Repeat-Anlage mit 1:1-Abbildung
microel.
optical multiple image
step-and-repeat
reduction camera
Fotorepeater
microel.
optical multiple image
step-and-repeat
reduction camera
Fotorepeaterkamera
microel.
optical
step-and-repeat
camera
Fotorepeater
microel.
optical
step-and-repeat
imaging system
Fotorepeateranlage
microel.
partitioning of the wafer image by
step-and-repeat
projection
Aufteilung des Waferbildes durch schrittweise Projektionsübertragung
microel.
partitioning of the wafer image by
step-and-repeat
projection
Unterteilung des Waferbildes durch schrittweise Projektionsübertragung
microel.
photo
step-and-repeat
on wafer
Direktbelichtung des Wafers durch Fotorepeater
microel.
produce arrays of images by photoreduction with a
step-and-repeat
camera
regelmäßige Bildfelder durch Verkleinerung mit einem Fotorepeater herstellen
microel.
project
step-and-repeat
electron-beam lithography machine
elektronenstrahllithografische Projektions-Step-und-Repeat-Anlage
microel.
project
step-and-repeat
machine
Justier- und Belichtungsanlage mit Repeateinrichtung
microel.
project
step-and-repeat
machine
Scheibenrepeater
microel.
project
step-and-repeat
machine
Projektionsscheibenrepeater
microel.
project
step-and-repeat
machine
Projektions- und Überdeckungsrepeater
microel.
reduce the reticle on
step-and-repeat
equipment
das Retikel auf einem Fotorepeater verkleinern
microel.
reduction lens of a
step-and-repeat
aligner
Verkleinerungsobjektiv eines Projektions- und Überdeckungsrepeaters
microel.
second-generation
step-and-repeat
aligner
Scheibenrepeater der zweiten Generation
microel.
single-head
step-and-repeat
camera
Einfachrepeater
microel.
six-barrel
step-and-repeat
microreduction printer
Fotorepeater mit sechs Mikroprojektionssystemen
microel.
step and repeat
schachbrettartig vervielfältigen
microel.
step and repeat
im Step-und-Repeat-Verfahren übertragen
microel.
step and repeat
across the wafer
im Step-und-Repeat-Verfahren auf dem Wafer mehrfach reproduzieren
IT
step and repeat
camera
Wafer-Stepper
opt.
step and repeat
camera
Repetierkamera
opt.
step and repeat
camera
Repeaterkamera
microel.
step and repeat
circuit patterns directly on wafers
Strukturen im Step-und-Repeat-Verfahren direkt auf Wafer übertragen
microel.
step and repeat
circuit patterns directly on wafers
Schaltkreisstrukturen im Additionsverfahren direkt auf Wafer verkleinert abbilden
microel.
step and repeat
images across
on
the wafer
Strukturbilder auf die Halbleiterscheibe im Step-und-Repeat-Verfahren übertragen
opt.
step and repeat
mask making
Maskenherstellung nach dem Fotorepetierverfahren
opt.
step and repeat
microreduction printer
Kopiermaschine
microel.
step and repeat
on the wafer
im Step-und-Repeat-Verfahren auf dem Wafer schachbrettartig vervielfältigen
R&D.
step and repeat
on wafer
schrittweise optische Direktbelichtung
R&D.
step and repeat
on wafer
schrittweise Direktbelichtung auf dem Wafer
opt.
step and repeat
operation
Fotorepetierverfahren
(microreduction photographic process)
opt.
step and repeat
operation
Fotorepetiertechnik
microel.
step and-repeat
operation
Fotorepeattechnik
microel.
step and-repeat
operation
Fotorepeatverfahren
microel.
step and-repeat
projection aligner
Projektionsscheibenrepeater
microel.
step and-repeat
projection aligner
Scheibenrepeater
microel.
step and-repeat
projection aligner
Projektions- und
Überdeckungsrepeater
microel.
step and-repeat
reduction projection system
Projektions- und
Überdekkungsrepeater
(für direkte Waferbelichtung)
microel.
step and-repeat
reduction projection system
Großfeldstepper
microel.
step and-repeat
reduction projection system
Scheibenrepeater
microel.
step and-repeat
reduction projection system
Wafer-Stepper
cultur.
step-and repeat
camera
Imagerepeater
microel.
step-and repeat
the pattern
verkleinerte Wiederholstrukturen anfertigen
microel.
step-and-repeat
Verfahren zur Herstellung von Wiederholstrukturen
microel.
step-and-repeat
Step-und-Repeat-Verfahren
(Additionsverfahren: Verkleinern-Wiederholen)
microel.
step-and-repeat
aligner
Projektions- und
Überdeckungsrepeater
(alignment system)
microel.
step-and-repeat
aligner
Scheibenrepeater
(alignment system)
microel.
2:1
step-and-repeat
aligner
Überdeckungsrepeater mit einer Projektionsverkleinerung von 2:1
microel.
step-and-repeat
array data
Positionierdaten für den Step-und-Repeat-Vorgang
microel.
step-and-repeat
array distortion on the mask
Matrixverzerrung auf der vom Repeater hergestellten Maske
microel.
10:1
step-and-repeat
camera
Repeater mit zehnfacher Verkleinerung
el.
step-and-repeat
camera
Step-and-Repeat-Kamera
microel.
10:1
step-and-repeat
camera
Repeatkamera mit zehnfacher Verkleinerung
cultur., commun.
step-and-repeat
camera
Schrittkamera
cultur., commun.
step-and-repeat
camera
Schrittschaltkamera
microel.
10:1
step-and-repeat
camera
Fotorepeater mit zehnfacher Verkleinerung
microel.
step-and-repeat
equipment
Step-und-Repeat-Anlage
microel.
step-and-repeat
equipment
Repeateranlage
microel.
step-and-repeat
error
Schrittpositionierfehler
(eines Repeaters)
microel.
step-and-repeat
exposure
schrittweise Belichtung
microel.
step-and-repeat
exposure directly on the wafer
direkte Waferbelichtung nach dem Step-und-Repeat-Verfahren
microel.
step-and-repeat
exposure system
Belichtungsanlage mit Step-und-Repeat-Einrichtung
microel.
step-and-repeat
exposure system
Fotorepeateranlage
microel.
step-and-repeat
format
Format des schrittweisen Belichtungsverfahrens
microel.
step-and-repeat
generation of photomasks
Herstellung von Fotoschablonen nach dem Step-und-Repeat-Verfahren
(mit schrittweiser Belichtung)
microel.
step-and-repeat
mask making
Maskenherstellung nach dem Repeatverfahren
microel.
step-and-repeat
master mask
nach dem Step-und-Repeat-Verfahren hergestellte Originalschablone
microel.
step-and-repeat
10:1 microreduction camera system
10:1-Fotorepeater
microel.
step-and-repeat
microreduction photographic process
Fotorepeatprozeß
microel.
step-and-repeat
microreduction printer
Fotorepeater mit Projektionsverkleinerung
microel.
step-and-repeat
optical lithography system
fotolithografische Repeateranlage
microel.
step-and-repeat
optical lithography system
lithografische Fotorepeateranlage
microel.
step-and-repeat
optical projection machine
optischer Projektionsrepeater
microel.
step-and-repeat
optical projection unit
optischer Projektionsrepeater
microel.
step-and-repeat
optical-mechanical distortion
optisch-mechanische Verzeichnung des Step-und-Repeat-Systems
microel.
step-and-repeat
photomasking equipment
Fotorepeatanlage für Schablonenherstellung
microel.
step-and-repeat
placement error
Schrittpositionierfehler
microel.
step-and-repeat
-print
im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
(kopieren)
microel.
step-and-repeat
printing of the subsequent matrix array
schrittweise Belichtung der nachfolgenden Matrixanordnung
(mit einem Scheibenrepeater)
microel.
step-and-repeat
projection lithography system
lithografische Projektionsanlage mit Step-und-Repeat-Einrichtung
microel.
step-and-repeat
projection printing method
Überdeckungs- und
Projektionsrepeatverfahren
microel.
step-and-repeat
projection with demagnification 10:1
schrittweise Projektionsübertragung mit zehnfacher Bildverkleinerung
microel.
step-and-repeat
reduction
Verkleinerung mit Step-und-Repeat-Verfahren
(zu einer Originalmaske)
microel.
step-and-repeat
reticle
Retikel für Repeatverfahren
microel.
step-and-repeat
system
Fotorepeatanlage
microel.
10:1
step-and-repeat
system
Projektionsrepeater mit zehnfacher Verkleinerung
microel.
step-and-repeat
time
Vervielfältigungszeit
(des Fotorepeaters)
microel.
step-and-repeat
wafer imaging
schrittweise Bildübertragung auf den Wafer
microel.
step-and-repeat
wafer imaging
Übertragung der Bilder im Step-und-Repeat-Verfahren auf den Wafer
(s.a. wafer stepping)
microel.
step-and-repeat
wafer imaging
Waferstrukturierung firn Step-und-Repeat-Verfahren
microel.
step-and-repeat
wafer imaging
Waferbelichtung firn Step-und-Repeat-Verfahren
microel.
step-and-repeat
wafer imaging system
Großfeldstepper
microel.
step-and-repeat
wafer imaging system
Scheibenrepeater
microel.
step-and-repeat
wafer imaging system
Projektions- und
Überdekkungsrepeater
(für direkte Waferbelichtung)
microel.
step-and-repeat
wafer imaging system
Wafer-Stepper
microel.
step-and-repeat
X-ray aligner
Röntgenüberdeckungsrepeater
microel.
step-and-repeat
X-ray machine
Röntgenrepeateranlage
microel.
wafer
step-and-repeat
exposure system
Projektions- und
Überdeckungsrepeateranlage für Waferbelichtung
microel.
10x optical
step-and-repeat
camera
Fotorepeater mit 10facher Bildverkleinerung
microel.
X-ray
step-and-repeat
machine
Röntgenrepeateranlage
microel.
X-ray
step-and-repeat
printer
Röntgenbelichtungsanlage mit Repeateinrichtung
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