Terms containing scanning with a beam

Subject	English	German
microel.	direct writing of the device pattern with a scanning electron beam	Direktschreiben der Bauelementstruktur mit einem Rasterelektronenstrahl
microel.	scan every element in the pattern with a finely focussed spot beam	jedes Strukturelement mit einem feinfokussierten Strahl abrastern
tech.	scanning with a beam	Strahlabtastung