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resist pattern
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Subject
English
German
microel.
definition of
resist patterns
down to submicron dimensions
Auflösung von Resiststrukturen bis in den Submikrometerbereich
microel.
delineation of the desired pattern in the resist
Schreiben der gewünschten Struktur im Resist
microel.
dimensional accuracy of the developed
resist pattern
Genauigkeit der Abmessungen der entwickelten Resiststruktur
microel.
draw a pattern in an electron-sensitive resist
eine Struktur in elektronenempfindlichem Resist schreiben
microel.
expose patterns deep into a thick coating of resist
Strukturen tief in eine dicke Resistschicht hinein exponieren
microel.
expose the circuit pattern directly on the resist-covered wafer
die Schaltkreisstruktur direkt auf den resistbeschichteten Wafer belichten
microel.
generate the pattern by exposing a resist coating
die Struktur durch Belichtung einer Resistschicht erzeugen
microel.
high-resolution replication of the printed
resist patterns
Vervielfältigung der belichteten Resiststrukturen mit hoher Auflösung
microel.
image patterns on resist-coated wafers
Strukturen auf resistbeschichteten Wafern abbilden
microel.
pattern images on the slice directly in the resist
Strukturen auf der Scheibe direkt im Resist herstellen
microel.
pattern transfer from the top resist to the silicon nitride layer
Strukturübertragung von der oberen Resistschicht auf die Siliziumnitridschicht z
microel.
resist pattern
Lackbild
microel.
resist pattern
Resiststruktur
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