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Terms containing resist pattern | all forms | in specified order only
SubjectEnglishGerman
microel.definition of resist patterns down to submicron dimensionsAuflösung von Resiststrukturen bis in den Submikrometerbereich
microel.delineation of the desired pattern in the resistSchreiben der gewünschten Struktur im Resist
microel.dimensional accuracy of the developed resist patternGenauigkeit der Abmessungen der entwickelten Resiststruktur
microel.draw a pattern in an electron-sensitive resisteine Struktur in elektronenempfindlichem Resist schreiben
microel.expose patterns deep into a thick coating of resistStrukturen tief in eine dicke Resistschicht hinein exponieren
microel.expose the circuit pattern directly on the resist-covered waferdie Schaltkreisstruktur direkt auf den resistbeschichteten Wafer belichten
microel.generate the pattern by exposing a resist coatingdie Struktur durch Belichtung einer Resistschicht erzeugen
microel.high-resolution replication of the printed resist patternsVervielfältigung der belichteten Resiststrukturen mit hoher Auflösung
microel.image patterns on resist-coated wafersStrukturen auf resistbeschichteten Wafern abbilden
microel.pattern images on the slice directly in the resistStrukturen auf der Scheibe direkt im Resist herstellen
microel.pattern transfer from the top resist to the silicon nitride layerStrukturübertragung von der oberen Resistschicht auf die Siliziumnitridschicht z
microel.resist patternLackbild
microel.resist patternResiststruktur

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