Terms containing reduction step- repeat system

Subject	English	German
microel.	reduction step-repeat system	Step-und-Repeat-Anlage mit verkleinerter schrittweiser Projektionsübertragung
microel.	step and-repeat reduction projection system	Projektions- und Überdekkungsrepeater (für direkte Waferbelichtung)
microel.	step and-repeat reduction projection system	Großfeldstepper
microel.	step and-repeat reduction projection system	Scheibenrepeater
microel.	step and-repeat reduction projection system	Wafer-Stepper